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潔淨室（shì）汙染的危害性分析（xī）
對於一個新建的潔淨（jìng）室，或是潔淨室的（de）生（shēng）產工藝或生產設備更新後，在尚未投（tóu）入使用前要確定哪些是危害性大的汙（wū）染源往往是比（bǐ）較困難的。因為那時還不可能采集到產品汙（wū）染的有關信息，也不（bú）能有更多檢測（cè）、監測結果可（kě）供參考。但這些都不應該妨礙根據以往的潔淨室運行管理、監測結（jié）果和（hé）類似的（de）工藝生（shēng）產的經驗，來進行初步分析。因為在潔淨室的危險分析和汙染控製過程中，還有“評（píng）定與再（zài）評定”的步驟。正確的思路是：待將來在掌握更多（duō）潔淨室檢測數據和產（chǎn）品品質分析資料時，再（zài）對目前的初步分析進行修正與變更。此時，初的“危害性分...
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2020-08-31
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微生物汙染控製原則
在生物（wù）潔淨室（shì）和相關環境中，應建立並實施用以維持生（shēng）物汙染控製的“控製體係”，利用該體係來評價和控製那些對工（gōng）藝及生產的微生物（wù）水平有影響的（de）因素。根（gēn）據ISO14698-1“潔淨室與相關受控環境—生（shēng）物汙染控製”的推薦（jiàn），“危害分析（xī）關鍵（jiàn）控製點（diǎn）”係統是一種在上廣泛被認可的（de）、便於使用的危（wēi）害分析方（fāng）法。當然其它經過驗證的有效方法，如“故障模式（shì）和結果分析”體（tǐ）係也是常用的一種。這些體係的原則可用於各種危害與故（gù）障分析，而針對生物汙染控製所需建立的“控製體係”，就是依據這些通用（yòng）體係的基本原理與原則，並具體...
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2020-08-31
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微生物汙染控製的（de）手段與方法
微生物懸浮於空氣中可形成各種各樣的微生物氣溶膠，微生物氣（qì）溶（róng）膠是（shì）指分（fèn）散相中含有微生物的氣溶膠。根據所（suǒ）需控製的對象和不同的微生物種（zhǒng）類，又可分為細菌氣溶膠、真菌氣溶膠、病毒氣溶膠等，對生物汙染（rǎn）控製較關注的微生物氣（qì）溶膠粒（lì）子主要分布在0.1～20um範圍內，見下表：生物汙（wū）染控製就本質（zhì）而言，與其（qí）它空氣中懸浮微粒汙染控製的手段與方法是一致的，采（cǎi）取的主要手（shǒu）段與方法有（yǒu）：1、采（cǎi）用空氣過濾器等物理方法把空氣中的懸浮微生物粒子阻隔下（xià）來，再將潔淨的空氣（qì）送入微生物汙染控製區，以排除或稀釋控製區內被懸浮微...
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2020-08-31
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凝聚（jù）核粒子計數器的介紹
凝聚核粒子計數器從計測原理上歸類，仍屬（shǔ）於離散粒子計數（shù）器，與一般離（lí）散粒子計數器的不同之處在於它附有一（yī）套使被檢測空（kōng）氣中（zhōng）的超微粒（lì）子尺寸增大的裝置，以便於（yú）用一般離散粒子計數器測定那（nà）些原來遠小於其識別能力的超（chāo）微（wēi）粒（lì）子，例（lì）如0.02um的超微粒子。其工作原理如下圖：被測空氣中懸浮的超微粒子（zǐ）由采樣口進入凝聚核粒子計數器，經過溫度為35℃的飽（bǎo）和蒸汽發生容器及溫度為10℃的凝聚管後，在溫度驟（zhòu）變的條件下以超微粒子為凝聚核，形成了尺（chǐ）寸遠大（dà）於超微粒子自身的液滴。液滴的尺寸可根據檢（jiǎn）測需要在一（yī）定範圍內調（diào）整...
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2020-08-27
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潔淨室靜電測試
潔（jié）淨室內往往（wǎng）存在著不容忽視的靜電危害，是導致電子器（qì）件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片製造影響尤為重要。此外，靜電還是潔淨室（shì）在生產過（guò）程中有易燃易爆氣體或粉塵產生時，導（dǎo）致（zhì）爆炸、火災的元凶以及存在（zài）電擊傷人的隱患。潔淨室靜電對塵埃的吸（xī）附效應（yīng），也易造成生產環境和產（chǎn）品各個壁麵的塵埃聚集，以致影響潔淨室的環境和產品被汙染。1、相關的規範規定（dìng）潔淨室相關規範對靜電防護問題，從設計到運行都有具體的規定。例如，潔淨室（shì）設施應選用既不會產生（shēng）也不能蓄積大量靜電的建築材料。為保護對靜電...
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2020-08-27
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潔淨室的噪聲、微振與照度的測試
由於（yú）潔淨室對排除（chú）室內汙染（rǎn）物的要求高，因此比一般空調房間的通風換氣量要大很多。1～5級高級別潔淨室（shì）的通風換氣次數甚至（zhì）高達幾百次之（zhī）多，是普通舒適性空（kōng）調（diào）房間換氣次數的幾十倍。正因為（wéi）需要巨大的通風換氣量，從節省驅動能耗及減少輸送氣流的（de）沿程熱損耗的角度出發，就要盡可能拉近機（jī）房（fáng）與潔淨室的距離。這也正是廣泛采用裝置在（zài）潔淨室內的風機（jī）過濾器機組的原因之一。由於機械設（shè）備運（yùn）轉造成的（de）機械振動與噪聲、空調淨化（huà）係（xì）統較高的靜壓值及係統中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調係統更為突出，因（yīn）此潔淨（jìng）室的噪聲與微...
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2020-08-26
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