微電子潔淨廠（chǎng）房的特點和火災危險性

一、微電子工業類潔（jié）淨廠房（fáng）的特殊工藝決定了它具有以下特點（diǎn）和（hé）火災危險性：
（1）廠房內（nèi）大量存在用特殊的板材設置的潔（jié）淨室。潔淨室是個相對密閉空間，有的還是無窗密閉體。一般不設置開啟通風窗，密閉空間一旦發（fā）生火災，熱量難於散發，產生大量煙氣，給人員疏散和消防隊的撲救造成較大困難。
（2）廠房對工藝加工設備精度和自動化程度要求很（hěn）高，因而建築以及生產設（shè）備投資十分昂貴，一旦發生火（huǒ）災，會造（zào）成嚴（yán）重的經濟損失。
（3）廠房操（cāo）作工藝大多需使用易燃（rán）、易（yì）爆液體或氣體。一旦有液體或（huò）氣體泄漏，就有可能引發火災（zāi）、爆炸。
（4）潔淨室的電氣設備較多（duō），線路大多為暗敷，檢修比較困難，有了故障及（jí）火災時不易發（fā）現。
（5）廠房內有許多管道（如通風管、電纜管）跨樓層相（xiàng）通，發（fā）生火災，火勢（shì）會順著管道迅速蔓延。
（6）廠房內的走廊、通道管（guǎn），由於（yú）工藝的特（tè）殊要求，都布置得（dé）迂回曲折，人員疏散困難（nán）。
（7）室內裝修（xiū）使用（yòng）了一些高分子合成（chéng）材料，這些材料在燃燒時產生濃煙，散發毒氣（qì），有的燃（rán）燒速度極快。
二、鑒於（yú）微電子工業類潔淨廠房的特殊性（xìng）和火災危險性，建築防火設計中應注意以下方麵（miàn）：
（一）防火分隔
1、潔淨廠房的耐火等級不應低於二級。
2、潔淨廠房樓層數的判（pàn）定：由於工藝要求，潔淨廠房的層高一般較普通廠房高，並需要設置上（shàng）下技（jì）術夾層（céng）或技術夾道，夾層內設置一些設備、風機、風管、電纜、氣體（tǐ）和液體的輸送管道。它與潔淨區之（zhī）間由鏤空地板、吊頂或錯綜複雜的管道上下連通。如果將技術夾層算為獨立的一層，防火分隔（gé）顯然很困難，筆者借鑒專家的意見認為可將上下技術夾層（céng）及生產區作為一（yī）層來考慮，但應（yīng）在（zài）上（shàng）下（xià）夾層內設置相（xiàng）應的消防（fáng）設施。
3、潔淨廠（chǎng）房的防火分區。由於工（gōng）藝的需要，生產車間生產線長度達到200餘（yú）米，按照《民用建築設計防（fáng）火規範》的要求設置防火分區*不（bú）現實。鑒（jiàn）於該（gāi）類工業的從業人員少，如果加強安全疏散條件和防火滅火（huǒ）設施配備，可按照生產（chǎn）需要設（shè）置防火分區。
（二）安全疏散
1、安全（quán）出口與疏散通道：在潔淨廠房的設計中（zhōng），人員的安全疏散是尤為重要，也是較複雜的。應按照《潔淨廠房設計規範》要（yào）求每一生產層、每一防火分區或每一潔淨區（qū）的安全出口數量，均不應少於二個，且（qiě）安全出口應當分散布置。設計時應盡量（liàng）使疏（shū）散路線與（yǔ）工藝流程分隔開，滿足從任何一處生產（chǎn）地點至安全出（chū）口（kǒu）不經過（guò）曲折（shé）的人員淨化路徑，應直接明了避免（miǎn）曲折，且在走上設置明（míng）顯的指示標誌（zhì）。
2、火災撲救出（chū）入口的要求：由於（yú）潔淨廠房（fáng）是個封閉間，一旦發生火（huǒ）災，給消防隊員的撲救帶（dài）來困難，因此規範要求（qiú）潔淨廠房（fáng）的外牆應（yīng）設可供消防隊（duì）員通往廠房潔淨區的消防口，消防口的間距不大於80m，其寬度（dù）不應小於750mm，高（gāo）度不小於1900mm，應有明（míng）顯標誌，消防口平時可封閉，使用時由消防（fáng）隊員從室外打開（kāi）。設（shè）計中在廠房內的火災撲救入口門應盡量開設在樓梯間內或（huò）疏（shū）散走道上，保證滅火人員的自身安全。
（三）室內裝修
潔淨（jìng）室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應為不燃燒體，且不得采用有機複合材料，潔淨生產與一般生產區域之間應設置（zhì）不燃燒體隔斷（duàn）設施。這樣可以避免因室內任何一方發生火災殃（yāng）及另外（wài）一方，避免燃燒（shāo）時（shí）產生窒（zhì）息性氣體、有害氣體等。目前國內外（wài）製造廠家（jiā）生產的潔淨室用金屬壁板，大部分均能滿足上述要求。
（四）消防給水和（hé）滅火設備
1、潔淨室的（de）生產層（céng）及上下技術加層（不含不通行的技術夾層），均（jun1）應設置室內消（xiāo）火栓。消火栓的用水量不（bú）小於10L/s，每支水槍的出水量應不小於5L/s。
2、潔淨廠房內設有貴重設備、儀器的房間應設置固定滅火設施。當設（shè）置自動噴水滅火係統時，宜（yí）采用預作用（yòng）式自動噴水滅火係統，當設置氣體滅火係統時，不應采用能導致人（rén）員窒息和對（duì）保護對象產生二次損害的滅火劑。
（五）消（xiāo）防通訊設施
由於潔淨廠房室（shì）內大量（liàng）使用金屬板材，一（yī）般屏蔽效果很強。所以在潔淨廠房內應設（shè）置一套*的消防通訊設施。這套設施不僅為內部職工在發生火（huǒ）災後報警和通訊使用，更應提供參與（yǔ）滅火的（de）消防官兵使用（yòng），以確保（bǎo）火場通訊（xùn）的暢通，減少不必要的通訊中斷和通訊故障，以確保滅火人員的生命安全。
（六）通風和防排煙
1、易燃、易爆區域的排風應與一般區域分開，單獨設置，並選擇防爆型排風風（fēng）機。
2、為保證生產安全和員工安全，應設（shè）置（zhì）事故排風係統。事故排風係統應（yīng）設自動和（hé）手動控製開關，手動（dòng）控製開關應分別設在潔淨室及潔淨室外便於操作的（de）地點。
3、潔淨廠房的（de）走廊，應設置機械防排煙設施。潔淨廠房內管線種類較多，若增加一套防排煙管道有很大難度，潔淨室機械防排煙係統可於通風、淨化空調係統合用，但必須采（cǎi）取可靠（kào）的防（fáng）火（huǒ）安（ān）全措施。
4、風管應采用不燃材（cái）料，並根（gēn）據相關規範的要求設置防火（huǒ）閥。
（七）電氣
1、潔淨（jìng）廠房內（nèi）應設置供人員疏散用的應急照明和疏散指示標誌。在（zài）消防口處（chù）應設置紅色應急照明燈。
2、潔淨廠房內應設置備用照明（míng），滿足所需要的場所或部（bù）位進行各項（xiàng）活動和工作（zuò）所需的zui低照度，一般不應低於（yú）正常照明照度標準的1/10。
3、潔淨廠房生產區（包括技術夾層）、機房、站房等均應設置火災報警探測器（qì）。潔淨廠房生產區（qū）及（jí）走廊（láng）應設置手（shǒu）動火災報警（jǐng）按鈕。
4、潔淨室（shì）內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管（guǎn）道應采取防靜電接地措施（shī）。