
1、生產設備之選擇、布置與保養:
(1)要(yào)選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之(zhī)發塵。
(2)應選擇塵埃之影響較(jiào)小的生產設備或接口設備(bèi)。
(3)生產用之水、氣體、藥品等往往是造成汙染的(de)原因(yīn),故應配備過濾(lǜ)裝置。
(4)規劃各設備之(zhī)配置空間時,事先宜考慮不(bú)易積累微塵之結(jié)構,規(guī)劃各並以容(róng)易清潔(jié)為原則。
(5)真空泵等容易產生汙染物的(de)這類設備,應設置在無塵室(shì)外麵或回風區,並加裝排氣管線排氣。
(6)設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣係統時,其構造須考(kǎo)慮到容易清潔,不易(yì)積(jī)累汙染物(wù)。
(7)生產及相(xiàng)關設備(bèi)應定期清掃,以避(bì)免微塵之堆積。
(8)應加強注意室內的(de)溫濕度控製,避免因濕度之不當(dāng)造成結露生鏽。
(9)當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量於清(qīng)潔室外進行,並加(jiā)隔離柵隔(gé)離。
(10)對於施工或維(wéi)修(xiū)之廠商,應告知進出無塵室之各項規定,且負責(zé)工程師應隨侍在側監(jiān)工。
(11)應有無塵室工具組,但不得帶出無塵室(shì)外使用。
(12)規劃空(kōng)間時若能臨近無塵室設立一間維(wéi)修和設備保養手冊(cè)置放(fàng)室,將是一理想之(zhī)規劃。
2、生產設備之防塵措施:
(1)磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。
(2)易產生(shēng)塵埃之設備,若(ruò)能的話應布(bù)置於風尾地點。
(3)在操作時,盡量減少接觸零件或產品(pǐn)。
(4)不得有太大或不必(bì)要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。
(5)各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品於進入生產設備前應(yīng)有過濾設備。
(6)為不使氣體或液體滯留,造成微汙染,故管(guǎn)路配置應有旁路閥之設置。
3、自動化與無塵(chén)化:
(1)設立(lì)自動化傳送係(xì)統(tǒng),可減(jiǎn)少人員方麵所帶來的(de)汙(wū)染,唯費用(yòng)相當昂貴,須詳加評估(gū)。
(2)建立管製項目如(rú)進入無塵室人員的資格限定,無塵室作業人員作業規則,無塵室管理規則等。