無塵車間控製溫濕度的必要性

無（wú）塵車間的溫濕度主要是根據您的加工（gōng）工藝要求來確定（dìng），在滿足加工工藝（yì）的條件下，首先應該考慮人的（de）舒適感。隨著空（kōng）氣潔淨度要求的提高，工（gōng）藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等（děng）級。例如在大規模集成電路（lù）生產的光刻曝光（guāng）工藝中，作為掩膜板材料的玻（bō）璃與矽片的熱（rè）膨脹係數的差要求越來越小。直徑100um的矽片，溫度上升1度，就（jiù）引起了0.24um線（xiàn）性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要（yào）求濕度（dù）值一般（bān）較低，因為人出汗以後，對產品（pǐn）將有汙染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題（tí）更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上（shàng）會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。
對於（yú）大部分潔淨空（kōng）間，為了防止外界汙染侵入，需要保持內部的（de）壓力（lì）(靜壓)高（gāo）於外部（bù）的壓力(靜壓)。壓力差的（de）維持一般應符（fú）合以下原則：
1、潔淨度級別高的空間的壓力要高於相鄰的潔淨度級別（bié）低的空間的壓力。
2、相通潔淨室之間的門要開（kāi）向潔淨度級（jí）別高的房間。
3、潔淨空間的壓力要（yào）高於非潔淨（jìng）空間的壓（yā）力。
壓力差（chà）的維持依（yī）靠新（xīn）風量（liàng），這個（gè）新風量要能補償在這一壓力差下從縫（féng）隙（xì）漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義（yì）就是漏（lòu）泄(或滲透)風（fēng）量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。
對於（yú）亂流潔淨室（shì）由於（yú）主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內汙染的程度（dù），所以主要用（yòng）換氣次數這一概念，而不直接用速（sù）度（dù）的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求：
1、送風口出口氣流速度不宜太大，和單純（chún）空調房間相比（bǐ），要求速度衰減更快，擴（kuò）散（sàn）角度更大。
2、吹（chuī）過水平麵的氣流速度(例如（rú）側（cè）送時回流速（sù）度)不宜太大，以免吹起表（biǎo）麵微粒重返氣流（liú），而造成（chéng）再汙染（rǎn），這一速（sù）度一般不宜大幹0.2m/s。