潔淨室的（de）技術要素及分類

潔（jié）淨室四大技術要素：
從潔淨室的建造、使用和維（wéi）護（hù）而言，潔淨室有四大技術（shù）要素：
A、潔淨室的淨化空調係統（tǒng）至少應有粗效、中效（xiào）和過濾器三級過濾措（cuò）施。尤其是在終端應（yīng）有過濾器（HEPA）或超過濾器（qì）（ULPA）。
B、潔淨室送風應有足夠的空調（消（xiāo）除室內（nèi）餘熱、餘濕）和淨化（保持潔淨度）送風量（liàng）。其（qí）送風量不（bú）僅能消除室（shì）內的餘熱和餘濕，保證室內的溫度和相對濕度（dù），同時還能消除或稀釋室內的粒子汙染，保證（zhèng）室內的潔淨（jìng）度要求。
C、潔淨室必須（xū）建立和維（wéi）持必要的相對壓差（正壓（yā）或負（fù）壓）。
D、潔淨室應（yīng）有合理的氣流流（liú）型，以保證其室內的潔淨度和溫、濕度等參數。
潔淨室的分類：
潔淨室的分類一般（bān）按氣流流型來分，還可按使用（yòng）用（yòng）途（tú）和（hé）主（zhǔ）要控（kòng）製對象來分。
A、潔淨室按氣流流型分類
潔淨室（shì）按氣流流（liú）型來分類可（kě）分（fèn）為單向流潔淨室、非單向流潔淨室、混合流潔淨室（shì）和矢流潔淨室。
a、單向流潔淨室
單向流潔淨室的淨化原理是活塞擠壓原理，是潔淨氣流將室內產生的粒子由一端向另一端以活塞型式擠壓出去，用潔淨氣流充滿潔淨室。單向流潔淨室又可分為垂直單向流潔淨室和（hé）水平單向流潔（jié）淨室。
①垂直（zhí）單向流潔淨室是在其吊頂上滿（mǎn）布（≥80%）空（kōng）氣過濾器（或FFU），經其過濾的（de）潔淨（jìng）氣流從吊頂用活塞型式以一定的速度，把室內的汙染粒子（zǐ）向地（dì）麵擠壓，被擠壓的汙染空氣通過地板（bǎn）格柵排出潔淨室，這樣不斷地進行（háng）循環運行來（lái）實現潔淨室的高潔淨（jìng）度。垂直單向流潔淨室可創造高的潔（jié）淨度（1級~5級（jí））但是，它的初（chū）投（tóu）資高、運行費高。
②水平單向流（liú）潔淨室是在其一麵牆上滿布（≥80%）空氣（qì）過濾器，被其過濾的（de）潔淨空氣以一定（dìng）的速度用活塞型（xíng）式將（jiāng）汙染粒子擠壓到對麵的回風牆，由回風牆排出潔（jié）淨室，這樣不斷循環來實現高的潔淨（jìng）度等級。水（shuǐ）平單（dān）向流可創造5級的潔（jié）淨度等級。其初投資與運行費（fèi）用也低於垂直單向流潔淨室。水平單向流潔淨室與垂直單向流潔淨室比（bǐ）較，其（qí）大的區別是垂直單向流氣（qì）流是由吊頂天花流向地麵，所有工作麵全部被潔淨的氣流（liú）覆蓋。而水平單向流潔淨室的氣流是由送（sòng）風牆流向回風牆，因此，氣流在工作麵（miàn）潔淨度高，後麵的工作麵的潔淨度會越來越差（chà）。
b、非單向流潔淨室
非單向流潔（jié）淨（jìng）室的淨化原理是稀釋原理。是用一定量的潔淨空氣來充淡稀（xī）釋室內產生的汙染粒子。潔淨空氣量越（yuè）多稀釋後的潔淨度就越（yuè）高。因此潔淨的送風量（換氣次數）不同，室內空（kōng）氣的潔淨度等級也（yě）不相（xiàng）同。在“規範”中規定（dìng）：6級潔（jié）淨室的換氣次數為50~60次/時（shí）；7級潔淨室的換（huàn）氣次數為15~25次/時；8級和9級（jí）潔淨室的換氣次（cì）數為10~15次/時。潔淨度級別不同其初投資和運行費（fèi）也不相同。常用的（de）非單（dān）向流潔淨室的氣流流型主要有頂送下回、頂送（sòng）下側回和頂送頂回。
c、混合流潔淨室
混合流潔淨室是將垂（chuí）直單向流（liú）和非單向流兩（liǎng）種型式的氣（qì）流組合在一個潔（jié）淨室中。混合流潔淨室可大大壓縮垂直單（dān）向流的麵積（jī），隻將其應用在必要的關（guān）鍵工序和關鍵部位中，用大麵積的非單向流來替代垂直單向流。這樣不僅大大地節省建造投（tóu）資而且也大大地節省了運行費用。這種混合流潔淨室目前廣泛地應用在微電子（超大（dà）規模集成電路）的光電子（液晶顯示器LCD、等離子PDP、發光二極管（guǎn）LED和薄膜晶體管（guǎn）有（yǒu）源矩（jǔ）陣液晶顯示器TFT-LCD）等大麵積高潔淨度等級的電（diàn）子工業潔淨廠房中。
d、矢流潔淨室
矢流潔淨室（shì）是用圓弧形空（kōng）氣過濾器構成的圓弧形送風裝置，經圓弧形過濾器送出的氣流是放射（shè）形的潔淨氣流，流線不產生交叉，灰塵粒子也是被放（fàng）射形氣（qì）流帶到回風口，回風口設在對麵牆（qiáng）的下側。矢流潔淨室可用較少量的潔淨送風來實現較高潔淨度級別（5級）的（de）潔淨室。這種氣流流型在美國和日本較多（在日（rì）本稱為對角流），而我國在工程（chéng）中應用較少。
B、潔淨室按用途和主要控製對象分類
按使用用途和主要控製對象潔淨室又可分為工業潔淨室、生物潔淨室和生物安全實驗室。
a、工業潔淨室
工業潔淨室的主要控製對象是灰塵粒子。它廣（guǎng）泛應用於電子工業、光電子工業、機械化工工業、光學工（gōng）業、航天事業等。在（zài）電子（zǐ）工業中微電子（集成電路）工業對潔淨室的潔淨度級別要求高。而且，隨著微電子技術的不斷發展，集成度的不斷提高，光刻線寬的不斷變小對潔淨室潔（jié）淨度等級的要求也越來越高。根據半導體工業協會（SIA）對未來集成電路發展趨勢，以及對（duì）潔淨生產環（huán）境中塵粒控製的趨勢預測（cè）可以看到微（wēi）電子（zǐ）工業對潔淨室潔淨（jìng）度的要求。
b、生物潔淨室
生物潔淨室（shì）主要的（de）控製對象是微生物、病菌等活的有生命（mìng）的（de）粒子，是不（bú）斷地生（shēng）長、繁殖的粒子。它所產生的汙染不僅（jǐn）僅是微生物本身，而且，還有新陳代謝產生的二（èr）次汙染。生物潔淨室主要應用在醫療、製藥、食品、生物工程、實驗動物飼養以及（jí）生（shēng）物（wù）安全等行（háng）業之中。
c、生物安全實驗室
生物安全實驗室是研究對（duì）人、動物（wù）、環境（jìng）等有害感染性的微生物、病菌、病毒等的特殊環境條件。因此（cǐ），生物安全實驗室，必須作到（dào）安全，不僅要保護實驗（yàn）研究（jiū）對象，使實（shí）驗得（dé）到（dào）真實可靠的實驗（yàn）數據和結果，而更重（chóng）要的是保護實驗操作人員和周圍的環境，使實驗人（rén）員和（hé）周（zhōu）圍環境都能得到可靠的安全保障。根據世界衛（wèi）生（shēng）組織（WHO）的（de）標準，可將感染微生物的危險度等級依它們的危險（xiǎn）程度不同劃分為4個不同的級別。而（ér）且（qiě）不同危險度等級的生物安（ān）全（quán）實驗室也要有相對應的（de）生物安全水平。