潔淨室的檢測與認證--高效空（kōng）氣過濾器檢漏

高效空氣過濾器本（běn）體在進入現場前，生產廠家應（yīng）按規定進行性能實驗檢測（如DOP測試等），並提供合格（gé）證(性能實驗結果)。對於5級(100級)以上潔淨室所使用（yòng）的高效空氣過濾器，在現場應再次進行（háng）高效空氣過濾器本體的性能檢測，同（tóng）時（shí）進行檢漏試驗以確認高效空氣過濾器（qì）是否正確安裝。在大規模集成電路生（shēng）產的超（chāo）潔淨技術中(如0.1um，1級)，由於新風量往往（wǎng）僅是循（xún）環風量的百分之幾，經過稀釋上風側也變成6級(1000級)的程度。在這種情況下，就必須重新考慮（lǜ）采用DOP檢漏試驗（yàn）。
1、檢測要求（qiú）
（1）一般采取粒子計數器法進行檢（jiǎn）漏，被檢高效空氣過濾器必須已檢測過風量，並在設計風速的80%～120%進行。
（2）對於被檢高（gāo）效空氣過濾器上（shàng）風側的微粒濃度符合下列要求：
對受控微（wēi）粒≥0.5um的濃度，必（bì）須大於等於3.5*10⁴pc/L
對受控微粒≥0.1um的（de）濃度（dù），必須大於等於3.5*10⁶～3.5*10⁷pc/L
2、檢測方（fāng）法
采用掃描法對高效空（kōng）氣過濾（lǜ）器（qì）安裝接縫（féng）和主斷麵進行檢測，監測（cè）點應距被（bèi）測表麵20～30mm，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被檢過濾器（qì）整個斷麵、封膠頭和安裝框架（jià）處進行掃描。粒子計數器的小（xiǎo）采樣量大於1L/min。
3、檢測設備
（1）光散射（shè）粒子計數器
其工作原理（lǐ）是利（lì）用空氣中的微粒對光線的散射（shè）現象，將采樣（yàng）空氣中微粒的光脈衝信號轉換為相應的電脈衝信號來（lái）測定微粒的顆（kē）粒數，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關係，測量微粒粒徑大（dà）小。光散射粒子計數器一般由氣路係統、光學係統、電路係統和（hé）電源等部分組成。
（2）激光粒子計數器
其工作原理與光散射粒子計數器基（jī）本相同，但因采用了比光散射粒子計數器強100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒（lì）徑的檢測範圍達0.1μm。
（3）凝聚（jù）核粒子計數器
它是（shì）利用飽和蒸汽讓微（wēi）小粒子凝聚為大粒徑粒子，進行微粒粒子濃度測定（dìng）。工作原理為（wéi）：采樣空氣中的微粒，經過（guò）溫度為35℃的飽（bǎo）和管，然後在（zài）溫度為10℃的凝聚管內由媒介液進行凝聚，直至增大到能夠檢測（cè）到散射（shè）光的粒徑為止，其他部分與一般光散射粒子計數器（qì）相同。
4、合格標準
GB 50591-2010《潔淨室（shì）施工（gōng）及驗（yàn）收規範》中規定，由高效空氣過濾（lǜ）器下風側泄露濃度換算成的透過率來衡量（liàng）是否合（hé）格，其合格標準如下：
對（duì）於高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤2K
對於超高效空氣（qì）過濾器  K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K為過（guò）濾器出廠時檢測合格的透過率；
    K′為過濾器的泄露濃度換算成（chéng）的透過率；
    c1為過濾器（qì）上風側含塵濃度；
    c2為過濾器下風（fēng）側含塵濃度（dù）。