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| 文件名 | 題目 | 狀態 | 簡（jiǎn）介（jiè） |
| ISO14644-1 | 通過顆粒物濃度對空氣潔淨度進行分類 | 2015 | 涵蓋潔淨（jìng）室及其相關受控（kòng）環境中的（de）空（kōng）氣潔淨度分類 |
| ISO14644-2 | 監測（cè）通過顆粒濃度提供與（yǔ）空氣潔淨度相關（guān）的潔淨室性能的證據 | 2015 | 監控和定期測試潔淨室或潔淨區的要求，以證明其繼續符合ISO14644-1 |
| ISO14644-3 | 測試方法 | 2005 | 用於表征潔淨室和潔淨區性能的空氣顆粒潔（jié）淨度分類的（de）測試方法 |
| ISO14644-4 | 設計、建造和啟動 | 2001 | 潔淨室安裝的設計（jì）和構（gòu）造（zào）要求 |
| ISO14644-5 | 運營 | 2004 | 潔淨室運行的基本要求 |
| ISO14644-7 | 分離裝置（清潔空氣罩（zhào）、手套箱、隔離器和微環境） | 2004 | 分離設備的設計、構造、安裝、測試和批（pī）準的低要求 |
| ISO14644-8 | 按化學物濃度（dù）（ACC）分（fèn）類的空氣潔淨度 | 2013 | 涵蓋潔淨室及（jí）其相關受控環境中氣態分子汙染物（AMC）的分類 |
| ISO14644-9 | 通過顆粒物（wù）濃度對表麵清潔度進行分類 | 2012 | 通過潔淨室及其相關受（shòu）控環境中的顆粒物濃度確定固體（tǐ）表麵潔淨度等級（jí）的分類 |
| ISO14644-10 | 按化學物濃度對表（biǎo）麵清（qīng）潔度進行分類 | 2013 | 根據化學化合物或元素的存在情況定義潔淨室表麵潔淨度的分類係統 |
| ISO14644-12 | 通（tōng）過納米級顆粒濃度監測（cè）空氣潔淨度的指南 | 2018 | 根據懸（xuán）浮納米級顆粒物濃度的空氣（qì）潔淨度（dù）的監測 |
| ISO14644-13 | 對表麵進行清潔以（yǐ）便達到規定（dìng）的顆粒（lì）物和化學（xué）物潔淨度 | 2017 | 用清潔劑處理潔淨室表麵、潔淨室（shì）設備表麵和潔淨室中材（cái）料表麵的特定清潔程（chéng）度 |
| ISO14644-14 | 根據懸浮顆（kē）粒物濃（nóng）度評估設備使用（yòng）的適用性 | 2016 | 設備在潔淨室和相關受（shòu）控環境中適用性的評估方法 |
| ISO14644-15 | 通過懸浮化學物（wù）濃度評估（gū）設備和材料的適用性 | 2017 | 將用於潔（jié）淨室及其相關受控環（huán）境中的設備和（hé）材料引起（qǐ）的化學物（wù）潔淨度提出要求和（hé）指南 |
| ISO14644-16 | 提（tí）高潔淨室和淨化設備能效的實施指南 | 2017（在編（biān）） | 為新建（jiàn）和現有的潔淨室、潔淨區和分離設（shè）備提供優化能源使用和保持（chí）能（néng）源效率的指導和建議 |
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