
電子潔淨室的設計特點有如下(xià):
1、平(píng)麵由工藝決定,電(diàn)子工業潔淨廠(chǎng)房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
2、主體結構宜采用(yòng)大空間及大跨度柱網,不(bú)宜采用內牆承重體係。
3、大型電子工業潔淨廠房(fáng)常采用上技術夾層、下技術夾層(céng)這種“夾心”式多層構造。
4、應考慮大型生產工藝設備的(de)安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔淨生產環境的安裝口或檢修口。
5、電子工業潔淨室按二級耐火等級設(shè)計。
6、特種氣體的儲存和(hé)分配間應有耐火隔(gé)牆與潔淨室(區)分(fèn)開,該(gāi)牆(qiáng)耐火極限不低於(yú)1H。有毒(dú)的矽烷或其(qí)混合物氣瓶存區至少三麵是敞開的,氣瓶與周(zhōu)圍構築物或圍欄之間的距離應大於3M,儲(chǔ)存區設置的雨篷應不低於3.5M。
7、電子工業潔淨室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質(zhì)的材料。
8、電子工業潔淨室(shì)允許設空(kōng)氣吹淋(lín)室,這是和一般生物潔淨室不同(tóng)的。吹淋室應與潔(jié)淨(jìng)工作服更衣(yī)室相鄰。單人(rén)吹淋室按大班人數(shù)為30人一間設計,當工作(zuò)人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮(suō)短通過時間,也可設(shè)遂道式吹淋室。
9、對於高級別潔(jié)淨室(shì),為(wéi)了盡可(kě)能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具(jù)采用淨化淚珠形燈具。
10、電子工(gōng)業潔(jié)淨室常要根據生產工藝要求設置防靜(jìng)電(diàn)環境,以便抑製靜(jìng)電的產生,將已產生(shēng)的靜電迅速、安全的排除(chú)。
11、電子工業潔淨室友有對防微振的特殊要(yào)求,在(zài)廠地環境上應避開(kāi)振動源。
12、電子工業潔淨室除有一般給排水要求(qiú)外,對超大規格集成電路的用水也有標準。
電子潔淨室的環境參(cān)數:
參數 | 數 值 | 說 明 |
截(jié)麵風速/(M/S) | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 潔淨度1-3級(ISO)潔淨室 潔淨度4-5級(ISO)潔淨(jìng)室 |
換氣次數/(次/H) | 50-60 15-25 10-15 | 潔淨(jìng)度(dù)6級(ISO)潔淨室 潔淨度7級(ISO)潔淨室 潔淨度8-9級(ISO)潔淨室 |
靜壓差/Pa | >5 >10 | 不同等級(jí)潔(jié)淨室之間以及潔淨室與非潔淨室 之間潔淨室與室外之羊 |
溫度/℃ | 18-22 16-20 按具體工程項目要求24-26 26-28 按具體工程項目要求 | 工藝無要求時的生產(chǎn)環境 人員淨化及(jí)生活用房 工藝有(yǒu)要求時的生產環境 工藝無要求時(shí)的生產環境(jìng) 人(rén)員淨化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 |
相對濕度/% 冬 夏 | 30-50 按具體(tǐ)工程項目要求(qiú) 50-70 按具體工程項目要(yào)求 | 工藝無要求時的生產環境 工藝有要(yào)求時的生產環(huán)境 工藝無要求時的生產環(huán)境 工藝有要求時的生產環境 |
新(xīn)風量/[M3/(人.H) | 40 | |
噪聲/DB(A) | <65 | 單向(xiàng)流及單向流與非單向流並存的潔淨(jìng)室 |
照度/lX | 300-500 200-300 | 非單向流潔(jié)淨室主要生產用房(有低照度要求的(de)如光(guāng)刻(kè)、顯示器件等除外) 其它用房(fáng) |
照度均勻度 | 0.7 | |
靜電表麵電阻率 | 1*105—1*1010 | 一級標準為(wéi)1*105—1*107 |
靜電體積電阻率 | 1*104-1*109 | |
地麵對地的漏泄電阻(zǔ) | *105-1*108 | |
靜電壓 | <50(45%相對濕度) | 4級(ISO)以上潔淨室 |
振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 | 根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標《隔振設計規(guī)範》 | |
電磁幹擾 | 4級(ISO)以上潔淨(jìng)室,當潔淨室靠近高壓輸配電設施時尤為重要 |