潔淨技術與電子產品生產的（de）密切關係

國內外的潔淨技術的發展都是隨著科學技（jì）術的發展、工業產品（pǐn）的日新月異，特別是軍事工業、航天、電子（zǐ）和生（shēng）物醫藥等工業的發展而不斷（duàn）發展。現代工業新產品和現代科學實驗活（huó）動要（yào）求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。微型化的產品如電子計算機（jī），從當初的要在數（shù）間房間內配置多台設備組合發展到當今的筆記本電腦，它所用的電子元（yuán）器件從電（diàn）子（zǐ）管到半（bàn）導體分離器件到（dào）集（jí）成電路再到超大規模集成電（diàn）路，僅（jǐn）集成（chéng）電路的線寬已從（cóng）幾微米發展到0.1m左（zuǒ）右。產品的微型化（huà）等的生產，要求有一個“潔淨的生產（chǎn）環境”，潔淨技術便是按照（zhào）產品生產對“潔（jié）淨生產環境”中的汙染物（wù）的控（kòng）製要求、控製方法以及控製設施的日益（yì）嚴格而不（bú）斷發展。潔淨生產環境—潔淨室（潔淨廠房）的稱謂、名稱或定義，先後使用過“無法室”、“無窗（chuāng）廠（chǎng）房（fáng）”、“密閉廠（chǎng）房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”……等，潔淨室因定義為將空氣中的（de）微粒、有害氣體、微生物受控的房間，以滿（mǎn）足產品生產（chǎn）的需要;潔淨室的建造和使用應（yīng）不引入或少引入微（wēi）粒（lì）等，應不（bú）產生或少產生微粒等應不滯留微粒（lì）等;應對潔淨室內的溫度、濕度、壓力等參數按產品生產要求進行控製;根據產品生（shēng）產要求還（hái）需對潔淨室（shì）內的氣流分布（bù）、氣流速度以及噪聲、振（zhèn）動、靜電（diàn）等進行控（kòng）製。
根據電子產品生產的特（tè）點，以半導（dǎo）體集成電路生產用潔淨室除應安裝產品生產用設備外，一般應具有下列功能設施：
淨化空調係統、淨化設備；
潔淨建築及裝飾；
噪聲控製（zhì）、防微振；
防靜電、防電磁幹擾；
電氣、照明；
高（gāo）純物質—高純水、高純（chún）氣、高純化學品供應；
安（ān）全、報警係統；
通信設施（shī）……等等（děng）。
潔淨室設計是一門綜（zōng）合技術，設計過程的關鍵專業技術是生產工（gōng）藝技術及其工藝設計（jì）；空氣淨化專業設計;潔淨建築設計以及各類產品生產（chǎn）所（suǒ）需的專業技術（shù），如微電子產品生產所需的高純物質—高純水、高純氣的專業技術等。這些專業技術在潔淨室設計（jì）中都是*的，它們之間必須密切配合，圍繞著滿（mǎn）足產品生產的需要，相互協調、統籌安排，在做好各相關專業設（shè）計的基礎上，處理好電源（yuán）、冷源、熱源等動力供應，節約能源。設有各項安全設施—消防、防火、防爆、安全報（bào）警確保潔淨室的安全運行。安排好各類配管配線，確保各種流體介質的輸送質量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護。