潔淨室的（de）四種類型

潔（jié）淨室的四種類型
（1）非單向流潔淨區
（2）單向流潔淨區
（3）混合流潔淨區
（4）微環境/隔離裝（zhuāng）置
潔（jié）淨室按氣流（liú）型式過去分非（fēi）單向流的及單向流的（垂直、水平單向流），90年代中後期ISO14644-4中又提出了混（hún）合流（liú）的型式，即（jí）把實際早已存在的在非（fēi）單向流潔（jié）淨（jìng）室設置局部的（de）單向流的潔淨（jìng）工（gōng）作台/站或層流罩等對關鍵部位進行“點”的“線”的保護以減少單向（xiàng）流潔淨（jìng）區的麵（miàn）積。如手術室（shì）、製藥廠、實驗室及小批量生產（chǎn）的潔淨室中尚采用這種“點”的保護（hù）。而半導體工廠常采用“潔淨（jìng）隧（suì）道”形式（shì）形成“線”的保護，即把較多工序（xù）的各台設備的關鍵加工區置於非單向流潔淨室（shì）的層流罩內，各台設備的（de）關鍵加工區一般都麵對布置。微環境/隔離裝置，是80年代出現的（de），90年代以後應用逐漸廣泛，它（tā）與潔淨室的概念是不*相同的，它是無人在內的，是工藝加工設備的關鍵加工部位*與周圍環境隔離並（bìng）進行加工，防止人等周圍環境對其加工的汙染。它必須是密切與工藝及工藝設（shè）備相結合的，實質上它已成為工藝設（shè）備（bèi）的一個組成部分。