無塵室潔淨度定期檢測及（jí）測量標（biāo）準

無塵室潔淨度定期檢測及測量標準
1、為了保證無塵室的潔淨度滿足工藝要求，必須定期對無塵室內的潔淨度進行檢測。
2、檢測測（cè）試設備：激光粒子記數器。
3、檢測周期：每周一上午、下午對各潔淨區域進行一次檢測。
4、檢測條件：靜（jìng）態潔淨度測試。
5、數據收集整理：將每次檢測的結果輸入監控室（shì）的電腦（nǎo）中儲存，並在每個季（jì）度末（或下季度初）給各部（bù）門發該季度的潔淨度記錄圖表電子檔通報給各部門。
6、各潔淨區域潔淨級別標（biāo）準：按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。
潔淨（jìng）等級標準相當於ISO級別等效於（yú）GB級別（bié）
K-1係統（tǒng）劃片區域
K-1係統改（gǎi）造前為靜態10萬級 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2係（xì）統包封區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3係（xì）統搪錫區域靜態30萬級（jí） CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4係統測（cè）試區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8係統電鍍區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3