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1、管路係統的試（shì）運（yùn）轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和（hé）純度測試。
2、高純氣體、特種氣體（tǐ）供應（yīng）設施安裝前，應按工程設計文件和產品（pǐn）說明書或合約的要求，檢查設備（包括填（tián）充的（de）純化材料等）、閥門和管件的完整性、密封性，並作檢查記錄。
3、純化設備、特氣櫃的搬運、就位應符合下列規定：
（1） 搬（bān）入潔淨室（區）前，應進行（háng）認真的（de）清潔，符合要（yào）求後從規定的設備搬入口運入；
（2） 整體設備搬運時，應按（àn）設備的構造、管道及閥門等（děng）附件的配（pèi）置狀況安全運輸，不（bú）得倒置，並可靠固定；
（3）設備就位時，應按（àn）工程設（shè）計文件和產（chǎn）品說明書要求，準確做好接管、接線定位；
（4）就（jiù）位後，水、電接口應按工程（chéng）設計文件要（yào）求連接；
（5）氣體（tǐ）管道接口，應在分係統的氣體輸送管道安裝試運轉合格後才能連接。
4、高純氣體、特種氣體係（xì）統的閥門箱（xiāng）、吹掃盤（pán）的安裝，應符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書（shū）等，並作好記錄；
（2）安裝位置應按工程設計文件、產品說明書（shū）要求進行（háng），並檢查接管（guǎn）、接（jiē）線方位的正確性；
（3）氣體（tǐ）管道接口，應在所在係統試運轉合格後才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試運轉的純度測試，應符合下列要求：
（1）純度測試介質（zhì），宜（yí）采用工作氣體進行；
（2）測試（shì）氣（qì）體的壓力，宜與輸送介質的設計壓力相同；
（3）測（cè）試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設在（zài）供氣係統中要（yào）求氣體純度（dù）及其雜質含量zui嚴格（gé）且距離zui長的用氣設備處；
（4）純度測試過程，取樣（yàng）時間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應采用與輸送介質純度及允許雜質含量相（xiàng）應的精度等級的儀器進行分析；
（5）當（dāng）測試氣體的進、出口（kǒu）的純（chún）度及其雜質含量（liàng）（一般以氧痕量濃度、水痕量（liàng）濃度為代（dài）表）一致時，即認為純（chún）度（dù）測試合格。
6、管路係統（tǒng）的試驗應（yīng）符合下列要求（qiú）：
（1）高純氣體、特種氣體（tǐ）供（gòng）應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏（lòu）量試驗（yàn）及試驗壓力，均應按工程設計文件要求；
（2）試驗氣體宜采用無油幹燥壓縮空氣或純氮或氦（hài）氣；試驗氣體壓力按規定逐步升至係統強度試驗壓力後，保持10min，然後（hòu）降壓至氣密性試驗（yàn）壓力，檢查（chá）接（jiē）口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格；
（3）氣密性試驗合格後，進行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無（wú）油幹燥壓縮空（kōng）氣時（shí），係（xì）統以設計壓力（lì）保持24h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格（gé）。采用氦氣為（wéi）試驗氣體時（shí），係統以（yǐ）設計壓力保持1h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因並進行*後，再進行泄漏量（liàng）試驗，直至合格為止；
（4）管路係統的（de）試驗，一般均（jun1）不包含純化設備、特氣（qì）櫃和閥門箱等。
7、管路吹掃應符合下列要求：
（1）應按氣（qì）體品種、工作參數分係統分別進行吹掃；
（2）管路係統應采用0.3.0.5MPa的（de）無油幹燥壓縮空氣或純氮進行吹掃，吹掃氣體應設（shè）置過濾精度嚴於0.31tm氣體過濾器去除微粒；對輸（shū）送可燃氣體的管路宜采（cǎi）用（yòng）純氮吹掃；
（3）在管路係統吹掃氣體排出口設靶檢查（chá），以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路係統（tǒng），應以排出口吹掃（sǎo）氣（qì）體中（zhōng）含氧量小（xiǎo）於1％為合格。
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