
過濾器安裝檢查
1.1過濾器安裝前,必須在安(ān)裝現場拆開包(bāo)裝進行外觀檢查,內容(róng)包括濾紙、密封(fēng)膠(jiāo)和框架有無損壞,邊長、對角線和厚度尺寸等是否符合要求;杠架有無(wú)毛刺和鏽斑(金(jīn)屬框);有無產品(pǐn)合格證,技術性能是否符合設計要(yào)求。
1.2檢查過濾器的濾材是否完好。
1.3濾材與其框架(jià)內部的連接(jiē)是否嚴密。
1.4過濾器框架的密封墊付和過濾器組支撐櫃架之間連接是否穩固。
2、過濾(lǜ)器檢漏
2.1測試方法:塵埃粒子計數器法。
2.2測試範圍:對於D級及更高潔淨度要求的潔淨室(shì),包括層流工作台、百級層(céng)流罩(zhào)、隧道烘箱等設備上的過濾器(qì),都必須在(zài)現場進行檢查檢漏。
3、檢測材料及儀器
3.1塵源:含塵濃度為3.5*104粒/L,微粒(lì)≥0.5um的氣體。
3.2儀器:塵埃粒子計數器。
4、粒子計數器法檢漏方法
4.1在被檢測過濾器上風側以大於或等(děng)於0.5um微粒,含塵(chén)濃度為3.5*104粒/L的空氣做為塵源,調整過濾器在(zài)接近設計風(fēng)速的條(tiáo)件下運行,用粒子計數器在被測過濾器下風側(cè)測得含塵濃度(dù)。
4.2根據《CLJ-03A型塵埃粒子計(jì)數器SOP》正確(què)使用計數器。
4.3用塵埃粒子計數器采樣頭掃描過(guò)濾器的出風側。采樣(yàng)頭離過(guò)濾器距離約2~4cm處,沿過濾器內邊框均速移動計數器探頭巡檢,掃描速度應低於5cm/s。
5、泄漏後處(chù)理
5.1出現泄漏時,用環氧樹脂矽膠堵漏或螺栓緊固以後再次進行掃描巡檢,儀表指示為“0”,表明漏點已被堵住(zhù)。
5.2過(guò)濾器泄漏(lòu)處允許用膠水修補,但是單(dān)個(gè)泄漏處的麵積不能大於過濾器總麵積的1%,全部泄漏點的麵積(jī)不能(néng)大於過濾器總麵積的5%,否則必須更換。
5.3過濾器(qì)修理或重(chóng)裝後必須重新進行測試。
6、檢測頻度
6.1在安裝或更換過濾器時應進行檢測。
6.2正常使用情況下,每(měi)年(nián)至少檢測一次。