
1963年,美國(guó)潔淨室標(biāo)準FED-STD-209中,按每立方英尺中(zhōng)≥0.5MM粉塵數量的zui高允許濃度,將潔淨室分成(chéng)若幹等級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
1999年,標準化(huà)組織ISO頒(bān)布了一項標準《ISO14644-1 潔淨(jìng)室與受控潔淨環境》*部分:空氣潔淨(jìng)度分級。標準中采用(yòng)了新(xīn)的分級。
2001年,中國新頒(bān)布的潔淨室設計(jì)標準中采用了ISO分級。
電子工業和製藥業是與潔淨室關係zui密切的兩個行業。ISO標準一出現,電子行業立(lì)刻改用ISO標(biāo)準定義的潔淨室(shì)級別,而製藥業目前仍沿用老的潔淨級別規定(dìng)。中國1998年版GMP規範中比前(qián)一(yī)版增加了個(gè)30萬級。