如何（hé）對潔淨（jìng）室內的環境控製？

潔淨室內之汙染路來源，經測試分析結果，作業人員占約80%。實驗數據顯示，作業（yè）人員進出潔淨室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔淨度馬上劣化，可見潔（jié）淨度劣化之（zhī）原（yuán）因人是主要因素。
潔淨室的汙染源可分為外汙染及內汙染源。外汙染源主要包括空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而（ér）內汙染源則包（bāo）括製程設備、工（gōng）作人員、工具、加工製程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。
對矽芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的（de）變形或短路，使芯片失去（qù）運作功能，因此微汙染源的控製（zhì）已成為潔淨室管理的重要環節。微汙染控製，其基本原則有四：
1、外部塵埃侵入之防止（zhǐ）
潔淨室（shì）適當之正壓（yā）保持（>0.5mmAq），做好施工工程（chéng）之不漏氣，人員設（shè）備、原（yuán）材料（liào）搬入潔淨室（shì）前先做好（hǎo）清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。
2、室內（nèi）發塵之防止
隔間板（bǎn）、地板等潔淨室材料的適當選用、製程設備的發（fā）塵抑製、生產自動化及人員不聚集、動作（zuò）放鬆、潔淨衣的管理（lǐ）、使用潔淨室器等。
3、室內發塵之不積留
牆壁（bì）體應光（guāng）滑*、潔淨室需定期保養和清掃、製程設（shè）備四周應留有空間。
4、發生塵埃之排除（chú）
換氣次數應足夠，適當的空間布置以及汙染源接排（pái）氣和空調的氣流速度須適當。人、物入室的管理問題、實際的作業條件和（hé）工程管理關聯之問題、室內之（zhī）空調（diào）及（jí）清掃關係之問題。