無塵室的介紹

無塵室是指可以將環境因素控製在規定數值內的空間，稱之為無塵室。室內（nèi）環境（jìng）因素包括空氣中：微生物、微塵粒、氣體分子、溫度、濕度、氣流流型、風速、壓差、照度、噪音、微振動、靜電（diàn）、風（fēng）量、電磁波等無塵室是指將一定空間範圍（wéi）內之空（kōng）氣（qì）中的微粒子（zǐ）、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並（bìng）將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動（dòng）及照（zhào）明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別（bié）設計之房間。亦即是（shì）不（bú）論外在（zài）之空氣條件如何變（biàn）化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力（lì）等性能之特性。
無（wú）塵室按用途可分為兩大類：
（1）工業無塵室：以無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象（xiàng）的汙染，內（nèi）部一般保持正壓狀（zhuàng）態。它適用於精密機械工業、電子工業（半導體、集成電（diàn）路等）宇航工業、高純度化學工（gōng）業、原子能工業、光磁產品工業（光盤（pán）、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦（nǎo）硬（yìng）盤、電（diàn）腦磁頭生產等多行業。
（2）生物無塵室：是以有生命微粒的控製（zhì）為對象。1999年標準化技（jì）術（shù）協會公告發行ISO/TC209通（tōng）用（yòng）標準，將無塵室分成9個（gè）等級，采用SI製單位，1k級（jí）即英製中的（de）1000級，室內環境中1 ft3、0.5um的微塵顆粒不超過1000顆。 主要控製有生（shēng）命微粒（細菌）與無生命微（wēi）粒（塵埃）對工作對象的汙染。
無塵室又可分為：
A、一般生物無塵室：主要控製微生物（細菌）對象的汙染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內（nèi）部一般保證正壓（yā）。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業無塵室（shì）。例（lì）：製（zhì）藥工業、醫院（yuàn）（手術（shù）室（shì）、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動（dòng）物實驗室、理化檢驗室、血站等。　　
B、生物學安（ān）全無塵室：主要控製工作對象的有（yǒu）生命微粒對外界（jiè）和（hé）人的汙染。內部要保（bǎo）持與大氣的負壓。例：細菌（jun1）學、生物學、潔淨實驗室、物物工程（重組基因、疫苗製（zhì）備）。
無塵（chén）室（shì）zui主要之作用（yòng）在於（yú）控製產品（如（rú）矽芯片等（děng））所接觸（chù）之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空（kōng）間我們稱之為無塵室（shì）。按照慣例，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中（zhōng）粒（lì）子（zǐ）直（zhí）徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也（yě）就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上，當然這（zhè）個標（biāo）準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎（hū）其微，但是對於光（guāng）學構造而（ér）言，哪怕是一點點的灰塵都會產（chǎn）生非（fēi）常大的負麵影響，所以在（zài）光學構造產品的生產（chǎn）上，無塵是（shì）必然的要求。
每立方米（mǐ）將小於0.3um粒徑的微塵數量（liàng）控製在3500個以下，就達到了無塵標準（zhǔn）的*。目前（qián）應用在芯片級生產加工的無塵標（biāo）準對於（yú）灰塵的要求高於*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5um及以下的微塵數量被嚴格控製在每（měi）立方米1000個以內，這也（yě）就是業內俗稱（chēng）的1K級別。