無塵車間的分類

1、亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空（kōng）調箱經風（fēng）管與無塵車間內（nèi）之空（kōng）氣過濾器(HEPA)進入潔淨室，並由（yóu）無塵車（chē）間兩側隔間（jiān）牆板或高架地板回風。氣流非（fēi）直線型運動（dòng）而呈（chéng）不規則（zé）之亂流或渦流（liú）狀態。此型式適用於潔淨（jìng）室等級1,000-100,000級。
優點：構造簡單、係統建造（zào）成本低（dī），潔淨室之擴充比較（jiào）容易，在某些特殊用途場所（suǒ），可並用無塵工作台，提高無塵（chén）車間等級（jí）。
缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需（xū）求之潔淨度（dù），往往須（xū）耗（hào）時（shí）相當長一段時間。
2、層流式(Laminar)： 
層流式空（kōng）氣氣流運動成一均勻（yún）之直線形，空氣由覆蓋（gài）率100%之過濾器進入室內，並由（yóu）高架地（dì）板或（huò）兩側隔牆（qiáng）板回風，此型式適用於潔淨室等級需求較高之環境使用，一般其潔淨室等（děng）級為Class 1~100。其型（xíng）式可分（fèn）為二種：
（1）無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對（duì）邊牆壁之回風（fēng）係統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側汙染較嚴重。
優點（diǎn）：構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。
缺點：建造費用（yòng）比亂流式高，室內空間不易擴充。 
（2）無塵車間垂（chuí）直層流式：房間天花板*以ULPA過濾（lǜ）器覆（fù）蓋，空（kōng）氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出（chū）室外而不會影響（xiǎng）其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀（zhuàng）態，不易為作業狀態或作（zuò）業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器（qì）較麻（má）煩。
3、複合式(Mixed Type)：
複合式為將亂流（liú）式及層流式予以複合或並用，可提供局（jú）部超潔淨之空氣。 
（1）無塵車間潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將（jiāng）製程（chéng）區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提（tí）高至（zhì）10級以上，可節（jiē）省安（ān）裝運轉費（fèi）用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修（xiū）予以隔離，以避免機器維修時影（yǐng）響了工作（zuò）及品質，ULSI製程大都采（cǎi）用（yòng）此（cǐ）種型式。潔（jié）淨隧（suì）道另有二項優點：A.彈性擴充容（róng）易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。
（2）無塵車間潔淨管道(Clean Tube)：將產品（pǐn）流程經過的自動生產線（xiàn）包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級（jí）以上。因產品（pǐn）和作業員及發塵環境相互隔離，少量（liàng）之（zhī）送（sòng）風即可得到良好之潔淨度，可節省能（néng）源，不需人工（gōng）的自動化生產線為zui適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
（3）無塵車間並裝局部潔淨室(Clean Spot)：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產（chǎn）品製（zhì）程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為（wéi）生產之用（yòng）；即（jí）屬此類。
潔淨工作（zuò）台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室空（kōng）間內（nèi）以防靜（jìng）電之透明塑料（liào）布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風（fēng）機組而成為一（yī）較之潔淨空間，其（qí）等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10M2以下，四支支柱並加裝活動輪，可為彈（dàn）性運用。