進入無塵室的材料、設備等物品（pǐn）管理要（yào）求

一、無塵室用材的選擇（zé）
1.必須仔細選擇無塵室的各種用材，確保它們不會對室內造成汙染。無塵室內經常（cháng）使用的材料與設備舉例如下：
1)生產中（zhōng）使用的（de）材（cái）料：在（zài）微電子工業中使用的矽晶片（piàn）；
2)產品包裝材料：如玻璃瓶、塑（sù）料瓶、塑料（liào）袋、預製的盒子（zǐ）等；
3)工藝（yì）設備和機器（qì）；
4)對設備和機器進行維修、校準、修理的工具以及轉動設備的潤滑劑等（děng）；
5)人員服裝（zhuāng），如潔淨工作（zuò）服、手套、指套、口罩、頭罩等；
6)無塵室清潔用品，如抹布（bù）與拖（tuō）把；
7)消耗性用品，如書寫紙張、圓珠筆、標簽、棉簽。
在大多數無（wú）塵室中粒子和纖維都是環境汙染的主要來源（yuán）。所以，應避免在生產工藝中使用容易（yì）破損或散發粒子的材料。其表麵帶有（yǒu）粒子和（hé）纖維（wéi）的材料也（yě）應避免使用。
在（zài）半導體工業中，產品表麵（miàn）的化學品和空氣（qì）環境中的某些氣體（tǐ）分（fèn）子可（kě）能形成的化合物（wù），會沉積在半導體（tǐ）的表麵上，它們可能影響產品質量，甚至損壞半導體芯片。
在一些無塵室中（zhōng），那（nà）些無法將靜電不斷地傳導開（kāi）的材料，可能會因為靜電荷的積（jī）累和放電使（shǐ）那些對靜電敏感（gǎn）產品會受到損壞。此外，靜電還會使材料產生靜電吸附效應而吸附粒子，造成（chéng）汙染問（wèn）題。
選擇用於無塵室內的生產材料，不（bú）僅僅要著眼於適合於生（shēng）產工藝，而且也（yě）應關注是（shì）否有（yǒu）可能產生汙（wū）染。顯然對那些既可能構成汙染（rǎn），但又是生產所需的材料和物品，隻有在（zài）缺之不（bú）可的情況下才能使用，或隻有在已經充分認識（shí）到了這些材料產生（shēng）汙染的問題，並考慮了其（qí）他替代材料但又確實都不適合後，才可使用。
2.以下所列舉的（de）部分乃至全部物品，因其會（huì）造成無塵室的嚴重汙染，根據產品對汙染的敏感性不同，一般禁止在無塵室中使用。
1) 非無塵室紙，如果一定要使用普（pǔ）通紙，應將其放入塑料袋內或采用雙麵熱塑；
2) 鉛筆與橡皮（pí）、墨水中（zhōng）含有汙染無塵（chén）室環境的化學品、纖維頭書寫（xiě）筆或（huò）者會劃紙的圓珠（zhū）筆、修改（gǎi）液；
3) 用低碳鋼或（huò）其他會生鏽、磨蝕、氧化（huà）的材料製成的物品；
4) 用機器加工或處理時會冒煙或破損的物品；
5) 用木頭（tóu）、橡（xiàng）膠、紙（zhǐ）張（zhāng）、皮革、毛、棉及（jí）其他天然（rán）材料製成的易（yì）破損物品；
6) 研（yán）磨（mó）材料或粉末、產生（shēng）氣溶膠的瓶瓶罐罐；
7) 不適合於（yú）在無塵室中使用的一次性物品，如棉簽、膠（jiāo）帶、標簽；
8) 無塵室人員不得將（jiāng）個人物品帶入（rù）無塵室內。
二、外部供（gòng）應的物品（pǐn）及其包裝（zhuāng）
1.外供物品宜在潔淨環境中產（chǎn）生
供應（yīng）無塵室的物品（pǐn）要求在潔淨環境中生產，其潔淨度（dù）標準宜與產品所供應的無塵室相同。如果外部供應物品（pǐn）交付時不能（néng）達到（dào）適當（dāng）的清潔水準（zhǔn），則必須在（zài）無塵室中對其加以清（qīng）潔，但（dàn）這樣做的效（xiào）果可能差些。有越來越多的公司在潔淨環境中（zhōng）製（zhì）造供應無塵（chén）室生產所需的零部件，無塵室管理人員（yuán）應該向本企業采購部門強調，要關注無（wú）塵室物品供應商的生產環境。應盡量（liàng）選擇質優價廉，又是在相應潔淨環境中生產的無塵（chén）室用品，以保證本企業潔（jié） 淨室的潔淨度（dù）和減少清潔外供物品的耗費。
參觀考察供（gòng）應商的生產設施並檢查其生產環境是很必要的（de）。外供物品生產廠家可能並不熟悉無塵室技術。所以，對他們的生產（chǎn）工藝的一些簡單建議和改進，就可能產（chǎn）生不錯的效果。即使製造廠（chǎng）家不（bú）具備潔淨生產環境，但隻要有較高水平的潔淨管理條件，使用無（wú）塵室用的手套、抹布、不起毛的服裝等（děng），也可大（dà）大（dà）提高產品的質量。
2.外供物品的包裝材料
應注意產品的存儲和包裝。如果加工的產品從生產設備上取下（xià）後立即用合適的潔淨（jìng）包裝方式（shì）包裝好，則周圍較差的生產環境對產品的影響就可以降至zui小。
外供物品的包裝方法和包裝材料必須考慮所供應的無塵室的潔淨度等級，包裝的尺度、外形均應符（fú）合貯藏、運輸、開箱過程中防汙染的要求，對包裝材料的主要要求有以下幾點：
1)包裝材料的無汙染性：要求包裝（zhuāng）材料本身不（bú）產生粒子、纖維、汙染氣體及蒸汽（qì）等， 不明顯地帶靜（jìng）電，不與包裝品產生化學（xué）反應；
2)包裝材料必須使用能（néng）夠清潔到包裝物品所要（yào）求的潔淨度的材料；
3)材料的（de）強度及耐久性：包裝材料應（yīng）承受（shòu）溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證所要求的密封性，避免運輸、存放過（guò）程中破損而汙染，以致將汙染帶入無（wú）塵室中。
無塵室外供用品的良好包裝，不僅可以避免產品在運輸途（tú）中的損壞，也可以zui大限度地避免產品（pǐn）受到外部環境的汙染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預（yù）製（zhì）的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比，粒子、纖維、化學（xué）汙染較少。塑料汙染的大小取決於所使用的塑料種類、製造方法（fǎ）以及包裝方式。所（suǒ）以，對（duì）所用塑料包裝是否（fǒu）適宜也（yě）要進行檢驗。有些塑料會產生靜電（diàn），從而（ér）可能損壞產品（pǐn）。如果使用防靜電塑料，它對粒子及纖維的 吸附作（zuò）用（yòng）也較小，因此也更潔淨。如果需要控製分（fèn）子汙染的話，則有（yǒu）些塑料包裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。
3.外供物品的包（bāo）裝方式
還（hái）要考慮的是需（xū）要幾層包裝。如果無塵室用的物品采用的是多層包裝，就可以在其運往無塵室的過程中一次打開一層逐步拆（chāi）裝，這就可（kě）以（yǐ）保證物品送至（zhì）無塵室時是較潔淨（jìng）的。對外包裝用真空吸塵（chén）器吸掃（sǎo）外表麵及用潮濕抹（mò）布擦（cā）拭，有助於保持其清潔，特別是在將產品運往無塵室的開始階段，尤其如此。隨著產品逐（zhú）步進入（rù）無塵室，外包裝也變得越來越（yuè）潔淨，相對而言外包（bāo）裝的清潔工作就顯得不那麽必（bì）要了。
包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同（tóng）的用途、材料傳遞氣閘室的不同設計等使得包裝方法也有很大區別。所（suǒ）以，無塵室的管理人員必須規定適用的包裝材料，規定所需物品在進入無（wú）塵室的（de）過程中對包裝進行清潔（jié）和打開各層包裝的規程。
三（sān）、通（tōng）過氣閘室（shì）傳（chuán）遞物品和小件設備
任何（hé）無塵室都不（bú）免要和其他低潔淨（jìng）級（jí）別區或非潔淨區發（fā）生物（wù）品傳遞的情況，減少傳遞過程中汙染（rǎn）物的侵入是重要的（de）日常（cháng）管理工作。通常使用氣閘室、緩衝（chōng）間以（yǐ）避免無塵室外的空氣直接進入無塵室內。在氣閘室的兩個門均關閉時，從（cóng）外（wài）走廊（láng）在（zài）開門時侵入的汙染以及使用氣閘室的人所散發出的汙染，均被氣閘室的送風所稀釋。材（cái）料傳遞氣閘（zhá）室的兩個門如同人身淨化的吹（chuī）淋室一樣（yàng），一般都（dōu）是聯鎖（suǒ）的。這樣就可以確保（bǎo）一扇門關閉之前（qián）另一扇門（mén）是不能打開的，可采用電氣聯鎖，也可以是機械聯鎖。這樣就（jiù）可以防止外部較低潔淨級別或非受控區的空氣直接進人無（wú）塵室（shì）。粘（zhān）墊則放在氣閘室（shì）人口處，或者氣閘室內（nèi）。粘墊的作用是（shì）防止鞋底或（huò）推車輪子上粘附的汙染轉（zhuǎn）移到無塵室內。氣閘室（shì）也用來防（fáng）止材料表麵及其包裝上的汙染物帶入無塵室。以下介紹（shào）了兩種通過氣閘室傳遞材料（liào）的方法。一種是“有台”式材料物品傳遞氣閘室；另一種是“無台”式材 料物品傳遞氣閘室。可根（gēn）據所傳遞的材料（liào）物（wù）品及傳遞的安（ān）全性選用。
1.帶傳遞台的（de）氣閘式傳遞（dì）室
“有台”式材料物遞氣閘室是將供應品安全地傳遞進無塵室的方（fāng）法之一。這種方式就 是由傳遞台將氣閘室分成“較髒”與“清潔”兩個（gè）區，這種方法適用於傳遞較輕、可（kě）以由人力搬動的材料和設備。
使用傳遞台傳遞物品（pǐn）的方法如下：
1)清潔傳遞台：先將非受（shòu）控區一側的門打開，搬運材（cái）料或設（shè）備的人員，從較低潔淨級別或非受控區進入（rù）氣閘室。氣閘室（shì）地麵鋪有粘墊或粘毯，這樣，從外麵（miàn）地板向內轉移的 汙染（rǎn）就可以zui少。搬運人（rén）員按規定方法對傳遞（dì）台進行清潔，必要時對其進行消（xiāo）毒，進行清潔工作時要（yào）注意，較（jiào）長的傳遞（dì）台（tái）麵被分為兩個區（qū）域，靠（kào）無塵室一側為“清（qīng）潔”區，靠（kào）較低潔淨級別或非受控區一側為“拆包”區。
2)送入傳遞物品並拆包：完成清潔工作後，搬運人員將帶包裝的物品送（sòng）人氣閘室。但不得把紙板箱的包裝材料帶（dài）入氣閘室內，因為它們會散（sàn）發（fā）較多粒子，易造成交叉汙染。 將帶著塑料包裝的物品送人氣閘室後，將其放置在傳遞台的“拆包”區一側，即所謂的（de） “帶（dài）包（bāo）裝”側或“髒”側。隨即對包裝進行清潔，然後拆開包（bāo）裝。其具體清潔方法（fǎ）根據使用物品（pǐn）的無塵室的標準而定，別潔淨（jìng）室要求（qiú）“精潔淨（jìng）”，一般無塵室要求則略低。然 後把（bǎ）物品放置於傳遞台的另一側，即所謂的“包（bāo）裝已（yǐ）拆”側或“潔淨”側。將物（wù）品從外部區域送（sòng）人氣閘室內的人員攜帶裝置（zhì）外包（bāo）裝的（de）容器，關上通往外部區域的門，離開（kāi）氣閘室。
3)氣閘室充分自淨：讓氣閘室處在無人（rén）狀態下數分鍾的時間，以（yǐ）便將汙染降至這樣 的濃度：當無塵室一邊的（de）門打開時，無塵室不會受到大的影響。為實現這一目的，可（kě）安（ān）裝內外門的聯鎖計時裝（zhuāng）置或指示燈。當無（wú）塵（chén）室側（cè）門自動打（dǎ）開或指示燈點亮後，無塵室的人員進人氣閘室，拿起物品（pǐn）後（hòu）離開（kāi）氣閘室。
2.無傳遞台的傳遞區
如果需要將大的重型設備或機器進出無塵室，則常常使用（yòng）不帶傳（chuán）遞台（tái）的氣閘室（shì）。但不帶傳遞台的氣閘（zhá）室作（zuò）為（wéi）傳遞區使用時，其安全度一般低於帶傳遞（dì）台的（de）氣閘室。
其工作程序如下：拆除用紙箱等包裝的無塵室（shì）用品放在一清（qīng）淨小車上。小車從外部的非受控區推入傳遞用氣閘室，人員隨即離開（kāi）。來自無塵室的人員進入氣閘室並取到供（gòng）應的材料。如果該（gāi）材料 較重，不得不將小車推入（rù）無塵室。在將小車推人無塵室以前，必須在氣閘室內對其進行清潔。如果材料（liào）不那麽（me）重（chóng）的話，則可將（jiāng）材料轉移到從無塵室推過來（lái）無塵室的材料轉運小車上。清潔或拆除材料的包裝，或先清潔再拆除（chú）包裝。然後，將載（zǎi）有材料的潔淨小（xiǎo）車推入無塵室（shì），無塵室的門隨後關閉（bì）。如果有物品（pǐn）需要帶出，外來的小車可暫時留在氣閘室。如果有更多（duō）的供應物品需要運入，外來（lái）的小車即可離開氣閘室。當把無塵室的小車推人無塵室前，可（kě）以考慮（lǜ）使用無塵（chén）室粘墊或粘毯清除（chú）小車輪子上的汙染物。
四、無塵室固定設（shè）備的進入、安裝（zhuāng）與維修
對於那些（xiē）進（jìn）入無（wú）塵室就（jiù）位後就同定不動或相對同定的大（dà）型設備，例如無塵室（shì）生產工藝用的（de）自動機械加工設備、隔離性裝置、排風罩等，這類固定設備通常處在無塵（chén）室關鍵工序 的周圍（wéi），它們一旦被安裝到位，再次移動不僅十分困難，並對無塵室的環境條件也影響較大。對於這類無塵室的大型設備，首（shǒu）先要求供貨商在生產製造時，務必在（zài）潔淨環境中，而且其包裝材料、方法也應符合無塵（chén）室（shì）的要求。
1.固定設備進（jìn）入的程序
為了避免發生大型固定設備進（jìn）入“動態（tài）”無塵室，也就是說無塵室（shì）已投付正（zhèng）式運行， 還要進入大型固定設備（bèi），應該在管理計劃中盡可能排出（chū）。因為在這種（zhǒng）特（tè）殊情況下，無塵室按ISO14644-2 “證明持續符合ISO14644 -1的測試和監測（cè）技術條件”的（de）規定要重（chóng）新認證無塵室，其工作（zuò）是相當繁雜的。
正常情況下，通常（cháng）是在空態（tài）或靜態條件下將固定設備送入。把設備送入（rù）無塵室時，應該關注的問題是：整個過程都不應增加對環境的汙染。
解決大（dà）型部（bù）件運（yùn）進運出的辦法就是設計一個大型物（wù）流氣閘室。它（tā）足（zú）以將每（měi）件設備運進運出無塵室。如果條件允許，設計無塵室時，宜考慮采納這個方案。
設備進出（chū）無塵室的另一設計方案是在無塵室（shì）的牆上（shàng）開一組雙門，大得足（zú）以容納機器、大型設備件的通行。由於這樣（yàng）的通道有可能（néng）直接與（yǔ）外走廊相通，因此必須鎖住，隻有設備需要進入時才打開。有些類型的牆板模塊可以取下來再安裝好又（yòu）不對牆造成損壞，這樣的話，就不需要（yào）另開門洞。
2.可在無塵室內牆一側建一（yī）個臨（lín）時氣閘室
所有準備進（jìn）入的設備（bèi）都（dōu）要檢查在運輸（shū）中有無損壞，有（yǒu）損壞的設備應該在無塵室外隔離（lí）保護起來，待供貨商修（xiū）複或另（lìng）行處理。運輸用的板條（tiáo）箱、硬紙板等（děng）應該在鄰近無塵室的（de）未受控區內拆封，然後再運進受控環境。如果沒有包裝，則設（shè）備的所有表麵都應該予以清潔，然後再運進潔淨區。理想的方法是在（zài）設備氣閘室內進行設備清潔，當設備（bèi）過大時，宜於在氣閘室或無塵室附近臨時專門修（xiū）建的房間內拆掉zui外麵的薄膜材料，作進人無塵室前的（de）清潔工（gōng）作。
拆包步（bù）驟如下：
1)對設備外護層（céng）用吸塵設備進行清潔，從頂部開始，向兩側擴展；
2)用適（shì）當的清潔劑擦拭外護層；
3)從設（shè）備外護層的（de）頂部（bù）撕開一個“工”型或“X”形切口，從頂部向下剝離外護層；
4)如果有多層包裝，每層包裝膜都要按2)、3)程序重複進（jìn）行（háng）；
5)所有運送設備人員進入氣閘室前（qián）都要穿上適當的潔淨服；
6)所（suǒ）有移動用、搬運用的（de）設備都應在氣閘（zhá）室內進行清潔；
7)在打開氣閘室靠無塵室一側的門運入設備前，應先（xiān）清潔（jié）氣（qì）閘（zhá）室（shì）。
3.通過傳遞窗傳（chuán）遞材料
除了物流氣閘室外，還有其他（tā）方（fāng）法可將材料傳遞入（rù）無塵室內供使用。將小型的（de）物件傳 進（jìn）傳出無塵室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的工作方（fāng）式與物流氣閘室相似，將物品傳遞入無塵室（shì），大致通過下述的步驟（zhòu）：
1)在無塵室外麵的人員打開傳遞窗的小門，對（duì）傳遞窗進行清潔；
2)打（dǎ）開物品的一（yī）層包（bāo）裝，將物品放入傳遞窗內（nèi）；
3)關（guān）閉傳遞窗的小門；
4)在傳遞窗另一邊的人員打開傳遞窗的內門（mén），取出物品（pǐn）。對取出（chū）的物品進行清潔。 在汙染控製要求嚴格的場合，則再打開物品的另一層包（bāo）裝。傳（chuán）遞窗一般都帶有電子或機械的聯（lián）鎖裝（zhuāng）置，防止兩個小門被同時打開，這樣可防止外部（bù）空（kōng）氣流入無塵室。有時將傳遞窗建在與地麵水平的位置，便於較重的物品通過傳遞窗。
4.固定設備運入（rù）的機械
如有可能，大型設備應該臨時拆卸為（wéi）能安全進人（rén）無（wú）塵室的組件（jiàn），使無塵室設備運入過程的風險降低。因為這些大型裝設搬運中，與無塵室圍護（hù）結構表麵接觸（chù）時，可能發生磨損、撞傷，並產生汙染（rǎn）。
所有（yǒu）用於大設備、組件的（de）提升、牽引（yǐn）或定位（wèi）的設備，在進（jìn）入無塵室前必須*清潔（jié）。這類（lèi）設備多數不是專為無塵室使用而設計、製造的，應*地檢（jiǎn）驗有無膜屑（xiè），表麵剝落狀況或不宜（yí）進入（rù）無塵室的（de）材料。
通常（cháng）宜用與無塵室級別（bié）相適（shì）應的塑料薄膜或帶子包裹或密（mì）封這些設備（bèi）的外（wài）表麵。設備如橡膠輪，宜用無塵室塑（sù）膠（jiāo）帶包嚴，以免在地麵上下橡膠或塑料微粒。
5.固定（dìng）設備的安裝程序
zui有效（xiào）的措施是在設備安裝階段用臨時的隔牆或（huò）隔斷（duàn）把設備所（suǒ）在位置與無塵室隔離開來。為不妨礙設備安裝，在設備周圍應留出足夠的空間，但同時（shí）也要注意隔離區空間適度，不宜過大。操作程序及其他注意（yì）事項如下：
1) 設備應盡可能通過服務通道或其他非關鍵（jiàn）區（non-criticalarea)進人隔離區（dis- olation area),如不可能則應采取措施盡量減少汙染。
2) 該隔離區的（de）氣壓相對於周邊應（yīng）維持中性或（huò）負壓。*封閉的隔離區則應該截斷區內的潔淨（jìng）空調送風，以減（jiǎn）少安裝時產生的汙染物向外擴散。 
3) 應該事先製定計劃，明確對隔離區和周圍區域監（jiān）控的方法和頻率，確保能及時發現汙染物由隔離區向（xiàng）外滲透的情況（kuàng）。
4) 設備就位後，在架設各種動力設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時，應采取措施控製操作過程產生的煙氣（qì）和殘（cán）渣，避免汙染周圍的（de）無塵（chén）室，也有助（zhù）於減（jiǎn）輕拆（chāi）除隔斷時的清潔工作量。
5) 在設備安裝工作完成後，清除隔（gé）離區內的（de）汙染，牆、地（dì）麵、設 備等所有（yǒu）表麵都要用真空吸塵器（qì）清掃（sǎo）、清理和（hé）擦（cā）拭。要特別注意設備護板後麵和下麵區域的清潔。
6) 在隔（gé）離區清潔工作完成（chéng）後，可以進行設備（bèi）的試運行和設備性能的（de）初步測試，但zui後驗收的測試，則需要*具備無塵室的（de）條件（jiàn）方可。
7) 經仔細分析，選（xuǎn）定對無塵室內的正常工作幹擾zui少的時間拆除隔（gé）斷牆。在小心地拆除隔斷牆的同時，隔離區內原被臨時阻斷的送風口，開始恢（huī）複送入潔淨空氣。此過程中，宜於隨時監測周邊離子濃度的變（biàn）化。
8) 清理隔斷後，設備所處位（wèi）置恢複無塵室（shì）正常狀態，開始對設備內部和關鍵工（gōng）序部位進行（háng）進一（yī）步清潔和作投人使用的準備。
9) 對設備所有（yǒu）內腔和所有與產品接觸（chù）表麵，也包括（kuò）產品裝卸的表麵，都要進行擦拭， 使之（zhī）達到要求的（de）潔淨度水平。設備清（qīng）潔順序應（yīng）是從頂到底。如果清潔過程中有顆粒物散出，則較大的粒子，在重力（lì）作用下將落到設備底部或地麵。
10) 再次清潔設備（bèi）外部，其順序也（yě）是從頂至底。
11) 必要時，應檢查（chá）產品或工藝要求非常關鍵區域的表麵粒子（zǐ）情況。
6.固定設備的維護與維（wéi）修
任何設備都需（xū）要定期維護或臨時維修。對（duì）此項工作的指導原則是：無論設備進行維護或維修時，都不能造成對無塵室的汙染。維護、維（wéi）修工作完成後要（yào）清除設備外表麵的汙染，按工藝要求，必要時還要清除內表麵的汙染。
1)如有可能，凡要進行維（wéi）修的設備應先移出無塵室再維修，以減少汙染產生的可能性；
2)如果必要（yào），應將需要維護的固定設備與（yǔ）周圍的無（wú）塵室隔（gé）離開來，再（zài）進行主要的維護或（huò）維修。或者采取把所有正在（zài）製造的產品移往適（shì）當位置的措施；
3)正在維護（hù）、維修設備相（xiàng）鄰（lín）的無塵室區域，應適當加強監（jiān）控，以保證有效地控製汙染；
4)在隔離區內進行維（wéi）修、維護（hù）的工作人員，不應與無塵室的生產或操作（zuò）人員發生接觸；
5)進人無塵室的維護或維修人員（yuán），應遵循（xún）該潔淨區的規範，包（bāo）括穿著適當的工作服及維修完成（chéng）後對（duì）該（gāi）區和設（shè）備清潔應達到要求；
6)如果技術人員需要躺下或爬到設備下麵去維修，應該先確定工作條件是（shì）否適宜，應在進行化學品、酸（suān）或（huò）生物危險品有效（xiào）中和或適當處（chù）理後，再（zài）開始維修工（gōng）作；
7)應采取措施保（bǎo）護維修人員的潔淨服不接觸（chù）到設（shè）備上的潤滑油或工藝用化學品等汙染物，還應避免潔淨服被設備（bèi）、工作的銳邊（biān）撕裂、捅破；
8)進行維護或維修工作用的全部工具、工具箱、小車等，在進入無塵室前都（dōu）應*地清潔，不（bú）允（yǔn）許帶入任何鏽蝕的工具。如果進人生（shēng）物無塵（chén）室，則還可能要求滅菌或消毒；
9)維修技（jì）術（shù）人員應避免把工（gōng）具、各種零（líng）配件、損壞的零部件或清（qīng）潔（jié）用的工（gōng）具材料等任何物品，放置在產品或工（gōng）藝材料用（yòng）的工作表（biǎo）麵附近；
10)維（wéi）修工（gōng）作過程中應該注（zhù）意清（qīng）潔，隨時進行清潔工作（zuò），定期地更換手套，避免因手套（tào）破（pò）損，維修人員的皮膚接觸設備潔（jié）淨（jìng）表麵（miàn）的（de）情況發生；
11)如果要求使用耐酸、耐熱或耐切（qiē）割型的非無塵室手套，那麽這些手套應符合潔淨室要求（qiú）或另套一副無塵室手套；
12)如需進行鑽、鋸作業時，應使用的罩蓋，把（bǎ）工具和進行鑽、鋸的區域遮蔽起來，同時使用無塵室真空除塵器，及時（shí）吸（xī）走揚塵。
13)在地麵、牆麵、設備側板或其他表麵鑽孔（kǒng）後，留下的縫（féng）隙、孔洞，要采取密封措 施，如用填料（liào）、粘合劑和特殊製造的（de）板堵塞，以防止汙（wū）染物經孔洞、縫隙擴散到無塵室內（nèi）。