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無塵室空（kōng）調製冷方案
無塵室空調製冷方案應根據供冷要求(耗冷量、供冷方式、冷凍（dòng）水溫等)、工程建設地區的水源情況(水溫、水質、水量等)以及電源、熱源（yuán）籌備方而進行技術經濟比較。既要求有較好的經濟指標，又要考慮當地的可能性。
製冷裝置的選用（yòng）是製（zhì）冷方案確定過程中的中心環節，製冷裝置的主要類型如下。
1、壓縮式製冷裝置
壓縮式製冷裝置包（bāo）括活塞(往複)式、離心（xīn）式和螺（luó）杆式三種。
活塞(往複)壓縮式製冷裝置的主（zhǔ）要（yào）設（shè）備是活塞式製冷壓縮機，常用工質（zhì）是氨(NH3)、氟利昂—12、22(F—12、22)。這類設備用電動機帶動，使用方便，品種多，產品全，能滿足各類空調供冷的要求，被廣泛采用。但一（yī）次投資大，設備費用高（gāo），耗（hào）電量大，維護管理比較複雜。
離心壓縮式製冷裝置的主要設備是離心式製冷壓縮機，常用工質是氟利昂—11、113、114(F-11、113、114)。該機與活塞（sāi）式（shì）製冷壓縮機的原理相同（tóng），但它隻有回轉（zhuǎn）運動，比活塞式運轉平穩，振動小、機件少，常與蒸發器，冷凝器組合為一體，設備緊湊占地麵積小。離心式製冷壓縮機的製冷量較大，因此隻有空調耗冷量較大時，才選（xuǎn）用這類設備。
螺杆式壓縮製冷裝置的主要設備是螺杆式製冷壓縮機，常用（yòng）工質是氟裏（lǐ）昂—12、22、 氨(F-12、22、R717)。目前生產的螺杆式製冷壓縮機與活塞式相比，雖效率（lǜ）稍低，但由於其結構簡單、體積小，吸氣係數高、排氣溫度低、單級壓縮比大，對（duì）濕行程不敏感，排氣脈動小（xiǎo），易（yì）損件少，柱修周期長，製冷量可無級調節等優點，因此在各種製冷裝置中得（dé）到較廣泛應（yīng）用。一般在(120—800)x105kJ＼h容量範圍內的製冷裝置（zhì）中用（yòng）該機具有（yǒu）較好的技術經濟指標。
2、吸收式製冷裝置
吸收式製冷（lěng）裝置利用熱能製冷。常見的有氨—水（shuǐ）吸收式製冷裝置和水—溴化鋰水溶液吸收式製冷裝置。前者適用於低溫冷凍；後者適用於空調供（gòng）冷，製取4℃以上空調（diào）或工藝（yì）用冷水（shuǐ）。溴化鋰吸收式（shì）製冷中水為工質，溴化鋰水溶液為吸收劑。
它的優點是對蒸汽（qì）熱源的壓力有極大的適應能力，當蒸汽壓（yā）力（lì）為0.02—0.1MPa時，可采用單溴化鋰吸收式製冷機，當蒸汽壓力為6.0—1.0MPa時，可采用雙效溴化鋰製冷機。
其次設備簡單，基本上是熱交換（huàn）器的組合體，容易製造，除小功率的屏蔽泵、真空泵（bèng）外，無運動部件，因此振動小（xiǎo）、運轉平穩；設備在真空下工作，工質無嗅、無毒、對人無害，使用安全，操作（zuò）管理簡單；容易實（shí）現設備操作自動化，製冷能力可在10％～100％範圍內自動調節；對冷卻水的水溫適應性強，即使達到（dào）37～38℃，設備仍能正常運轉；節省電能，單機製冷量相同條件下，溴化鋰製冷機的（de）耗電量（liàng）僅為壓縮式製冷機的5％左右，這對於供電緊（jǐn）張而熱源較充足的地區是很適用的。但是，溴化鋰吸收式製冷（lěng）也有缺點和使用的局（jú）限性，主要是溴（xiù）化鋰水溶液在接觸空氣的情況下，對金屬具有強烈腐蝕性，一旦遭到腐蝕，不僅影響傳（chuán）熱效果，降低使用壽命，而且會引起設備損壞，所以要求設備必須嚴格密封，在運行管理上（shàng）也需十分注意。
3、蒸汽噴射式製冷裝置
蒸汽噴射式製（zhì）冷裝置也是利用熱能進行製冷（lěng）的一種設備，以水為製冷劑，以蒸汽為製（zhì）冷動力。蒸汽的壓（yā）力要求0.2—0.8MPa，其主要優點有：設備在真空下工作，除泵以外，無轉動件；製冷劑為水，對（duì）人無害，使用（yòng）安全，操作簡單；設備簡單，容易製造，一般機械工（gōng）廠或機修車間都可加工製造；設備一次投資小，而且可以安裝在室外，節省土建費用；可利用工業企業中的廢熱或工（gōng）業企業中的（de）采暖鍋爐，冬季供熱采暖（nuǎn），夏季供汽製冷。
蒸汽（qì）噴射製冷的主要缺點是效率較低，設置鍋爐和利用小（xiǎo）型采暖鍋爐供汽是不經濟的（de）。冷凍水（shuǐ）溫在5℃以上時可以（yǐ）采用，在100℃以上時比較經濟（jì）。其效率隨冷凍水溫（wēn）度變化，冷凍水溫度越低，消耗蒸汽量越大，效率越低。此外，冷卻（què）水量很大，單機製（zhì）冷（lěng）量相同條件下，蒸汽噴射式製冷機所需冷卻水是為（wéi）壓縮式或溴化悝吸收式的1.5倍左右，這對於水源緊張的地區是不宜采用的。
熱、濕處理方案
熱、濕處理的過程包括加熱、冷卻、加濕和減濕。熱、濕交換的介質有水、蒸汽、液體吸濕劑和製冷劑。熱、濕交（jiāo）換的設備可分為（wéi）直接（jiē）接觸式和表（biǎo）麵式，其中（zhōng）直接接觸式包括噴（pēn）水室和（hé）蒸汽加濕器。表麵式（shì）包括空氣加（jiā）熱器，水冷式表麵冷卻器和直接蒸發式表（biǎo）麵冷卻器。
直接接觸式熱、濕交換設備的特點是（shì），與空氣進行熱、濕交換的（de）介質直接和（hé）被處（chù）理的空氣接觸，通常（cháng）是將其噴（pēn）淋到被處理的空氣中去。例如，在噴水室中噴出不同溫度的水，可以（yǐ）實現空氣的加熱、冷卻、加濕和減濕等（děng）多種空氣處理過（guò）程。利用蒸汽加濕器噴蒸汽，可以實現空氣的等溫（wēn）加濕過程；利（lì）用噴淋設備噴淋液體（tǐ）吸濕劑，可以實現空氣的各種減濕過程。
表麵式熱、濕（shī）交換設備的特（tè）點（diǎn）是，與空氣進行熱、、濕交換的介質不（bú）和空（kōng）氣直接接觸，熱、濕交換是通過處理設備的金屬表麵進行的。例如（rú），在（zài）空氣加熱（rè）器中通人熱水或蒸汽，可以實現空氣的等濕加（jiā）熱過程；而在表麵冷卻器中通人冷凍水或製冷劑，可以實現空氣的等濕冷卻或減濕冷卻(即幹燥冷卻)過程等。必須指出，在電加（jiā）熱器和使用（yòng）固體吸濕劑（jì）的空氣處理設備中，沒（méi）有上麵提到的那些參與熱、濕交換的介質，它們是利用電能加熱空氣或固體（tǐ）吸濕劑的物理、化學作用吸收空氣中的水分。其作用原理與直接接觸式和表麵式熱、濕交換設備有所不同（tóng）。
常用的熱、濕處理方案如下：
1、加熱方案（àn）
利用空氣加熱器中通入熱水或蒸汽，可以實現空氣（qì）等（děng）濕（shī）加熱過程（chéng），空氣加熱器（qì）通常用於空調係統（tǒng）的一次加熱和二（èr）次加熱，可以提供較大的（de）供熱量，並且比較經濟。
利用電加（jiā）熱器是讓（ràng）電流通過電阻絲（sī）發熱來加熱空氣。電加熱器有加熱均勻、熱量穩定、效率高、結（jié）構緊湊（còu）和控製方便等優點。因此，在空調機組和（hé）小型空調係統中應（yīng）用較廣。在恒溫精度要求較（jiào）高的大型空調係統中和淨化（huà）空調（diào）係統中，也經（jīng）常在送風支管上使用電加熱器來控製局部（bù）加熱，這（zhè）就是所（suǒ）謂的第三次（cì）加熱或叫（jiào）精加熱（rè）。但是，采用電加熱器要耗費較（jiào）多的電能，所以在加熱量要求較大的地方不宜采用。
2、加濕方案
利用普通的蒸汽噴管對空氣進（jìn）行加濕。普通的蒸汽（qì）噴管是由略粗於供汽管道的管子組成，上麵（miàn）開有若幹（gàn）直徑（jìng）為2—3mm的小孔。蒸汽在管網（wǎng）壓力作用下（xià），由這些小孔噴出，混到從蒸汽管周圍流（liú）過的空氣（qì）中去，使空氣得到加濕。普通的蒸汽管雖然構造簡單，容易加（jiā）工，但噴出的蒸汽往往夾帶凝結（jié）水滴，影響加濕效果的控製。通常用於濕度要求不嚴（yán）格的係統中。
利用（yòng）幹式蒸汽加（jiā）濕器對空氣進行加濕。幹式蒸汽加濕器就是在噴管外（wài）設一蒸汽保溫外套，在保溫外套（tào）內通人（rén）高（gāo）壓蒸汽，因而保證噴管外壁有較高（gāo）的溫度，不至於在管內產生凝結水。蒸汽再經（jīng）過加濕器簡體、導流箱、導流管和加濕器（qì）內的簡體，zui後幹蒸汽經噴管噴出加濕周圍的（de）空氣。通常用於大型空調係統中（zhōng）。
利用電加（jiā）濕器中的（de）電能產生蒸汽，不經管（guǎn）道的輸送，而將蒸汽直接混到空氣中去進行加濕。電（diàn）加濕器根據工作原理不同，可分為電熱（rè）式和電（diàn）極（jí）式兩種。電極加濕器結構緊湊，加濕量容易控製，所以（yǐ）應用較多。其缺點是耗電量大，電極上易積垢和（hé）腐蝕。因此，宜用在小型空調係統中。目前整體式空調機組多采用電極式加濕（shī）器，並（bìng）與壓縮機、蒸發器、冷凝器、通風機等一起組裝在一箱體內，使（shǐ）用方便。利（lì）用噴循環水的（de）方法對空氣進行加濕。在淋水室（shì）和淋水表冷段（duàn），都設有噴（pēn）水泵，冬季噴池內（nèi）的循環水，可以（yǐ）實現對空氣的加濕。這種方（fāng）法處理的風（fēng）量較大，耗電量少，對濕度易於保證，是集中（zhōng）式空調係統中（zhōng）經常采用的加（jiā）濕（shī）方法。
3、冷卻幹（gàn）燥方案
在（zài）淋水室中利用低於空氣露點溫（wēn）度的冷凍水對需（xū）要處理的空氣直接進行噴淋，使其產生熱、濕交換，可以實現對空氣的冷卻幹燥處理。這是空調中應用zui普遍的方法（fǎ）。
淋水室處理空氣有以下優點：
具有（yǒu）熱工性能上的多樣性，即可用於降焓、降溫、降濕，又可用於增焙、增溫（wēn）、增濕（shī），在（zài）不同的季節均能（néng）保持較嚴格的相對濕度。當噴水溫度不同時，淋水室可以對空氣做不同過程的熱工處理。
設備比較容易製造，可以現場加工，也可以由專業化工（gōng）廠製造，現場組裝；金屬耗量較少，造價較（jiào）低；可以（yǐ）兼作空氣淨（jìng）化用，除去空氣中的灰塵，使空（kōng）氣清（qīng）新，改善工（gōng）作條件。
淋水室處理空氣有以下（xià）缺點（diǎn）：
設備的占地麵積大，兩排臥式淋水室（shì）zui小長度為1.9m，三排zui小長（zhǎng）度為2.5m，而表冷器的長（zhǎng）度一般（bān）不超過0.6m，淋水表冷器也隻是1.4m。水（shuǐ）係統較為複雜，為（wéi）了適應室外氣（qì）象條件的變化，一般用改（gǎi）變噴水溫度的方法調節，即（jí）利用一部分循環水。因此，每套空調器都必須設置水泵；另一方麵水係統為開式係統，回水無壓力，如回水不能靠重力流出或做它用，則（zé）需要設回水箱或回水泵（bèng）；水（shuǐ）與空氣直接（jiē）接觸，易受汙染變髒（zāng），需定期排汙（wū）並補充新水。
利用冷水式表麵冷卻器處理空氣，使產（chǎn）生熱、濕交換，可以實現對空氣（qì）的冷卻幹燥處理（lǐ）。這也是空調中普遍應用的方法。
冷水表冷器與淋水室比較，處理空氣能力相近，其優點如下：
a．設備的體積小，所需（xū）機房麵積小，安裝（zhuāng）簡便；
b．水係統比較簡單，由於水循環可以采用封閉（bì）式係統，可以省去冷水箱和回水箱以及（jí）噴水泵；水與空氣不直接接觸，避免了空氣與水的相互汙染，水係統的補水量大（dà）為減少；
c．輸水係統電能消耗低，每套空調器的表冷器，無需設置（zhì）水泵，表冷器的阻力損耗全部由動力站的冷凍給（gěi）水泵負擔，盡管表冷器的空氣阻力較（jiào）大，但處理空（kōng）氣的總耗電量一般都較低。
冷（lěng）水表冷器處理空氣有以下缺點：
對（duì）空氣的處理過程不像淋水室（shì）那樣具有多樣性，隻能實現減焓降濕(即濕式冷卻)、減焓等濕(即幹式冷卻（què）)和增焙升溫的一部分(即加熱)三種處理過（guò）程（chéng），需加濕時，還須另（lìng）設（shè）加濕器，不（bú）易達到較嚴格的相對濕度（dù）要求，這是表冷器處理空（kōng）氣（qì）的zui大缺點。
設備（bèi）製造工藝（yì）複雜，不能現場加工，隻能由專業（yè）工廠生產，現（xiàn）場組裝；金屬消耗量大，一般（bān）要（yào）消耗較多的有（yǒu）色金屬（shǔ）；造價也較淋水室高，10000—160000m3／h八種規格的表冷器（qì）與三排淋水室的造價相比較，平均要高出（chū）30％以上。無除塵、去味作用。
為了消除上述缺點，增加熱交換（huàn）效率，也可采用（yòng）帶淋水的表冷器。
帶淋水的（de）表冷器，淋水（shuǐ）僅作為（wéi）加濕除塵用。其處（chù）理功能（néng）可以和淋水室相同，適用於要求采用閉式冷水（shuǐ）係統，且相對（duì）濕（shī）度要求嚴格又（yòu）不（bú）能（néng）用蒸汽加濕或用蒸（zhēng）汽加濕不合理時(例如無蒸汽源或不能全天供蒸汽（qì）)。利用直接蒸發式表冷器也（yě）可對空氣進行處理，實（shí）現對（duì）空氣的冷卻幹燥處理，這是小型空調機組昔遍采用的方法。
直接蒸發（fā）式由於采用製冷係統中的（de）蒸發器作為（wéi）空（kōng）氣冷卻（què）器（qì），因此設備簡（jiǎn）單，體積小，占地麵積小，初投資也zui省；但冷媒的管路（lù）損失大，要求密封嚴格，故蒸發器與冷凍機距離不宜（yí）拉得很（hěn）遠，一般一台（tái）冷凍機的蒸發器供給一個送風係統，組成（chéng）整體式機組。直接蒸發式表冷器不易調節，不易保持嚴格的相對濕度，一（yī）般用於相對濕度無嚴格要（yào）求的係統。
送風方案（àn）
普通的（de）空調送風方式可分為集中式和局部式兩種。另外，淨化係統需要粗效、中效和過濾器，結合空調與淨化的雙重要求，淨化空調係（xì）統可分為集中式淨化空調係統和分（fèn）散（sàn）式淨（jìng）化空調係統。
1、集中式（shì）淨化空調係統（tǒng）
空氣的初效和中效過濾器（qì）及熱濕處理設備(風機、加熱、加濕冷卻設備)集中設（shè）置在（zài）一個空調機房內，用管道與布置在（zài）室內（nèi）風口處（chù）的過濾器相（xiàng）連所組成的係統，叫集中式淨化空調係統。
集中（zhōng）式淨化空調係統的送風方式可有以下幾種形式（shì）。
（1）單風機（jī）係統
a．為防止汙染空氣滲入淨化空調係統而再次汙（wū）染中效過濾（lǜ）器後的空氣，中效過濾韶一般應設置在（zài）係統的正壓段。
b．為防止過濾器（qì）後的空氣再次被汙染，過濾器應盡量布置在係統末（mò）端即盡量靠近無塵室的送風口（kǒu）。一般情況下不宜采用（yòng）在空調機（jī）房內或離無塵室送風口較（jiào）遠的送風管道上（shàng）集中布置過濾器的（de）做法。
c．當（dāng）回風含塵濃度較高或有大粒（lì）徑灰塵、纖維等情況下，可在回風口或回風管道上設置中效過濾器。
d. 在圍護結構比較嚴密的條件下，為防止（zhǐ）係統停止運（yùn）行後（hòu）室外（wài）汙染空氣由新風口進入無塵室（shì），除在回風口或回風（fēng）管道上設置中效（xiào）過濾器外，可在新風人口管道上設置電動密閉（bì）閥並與風機連鎖。當風機（jī）啟動時，密閉（bì）閥（fá）打開，停止運行（háng）時關閉；或在新風人（rén）口管道上設置一般調節閥，再增設（shè）一道中效過濾器。
（2）設置值（zhí）班風（fēng）機的係統
當淨化空調係統間歇運行時，為防止係統停運後室（shì）外汙染空氣通過圍護結構的縫隙或從新風口進入無塵室，可以設（shè）置值班風機。
值班風機的風量按維持室內預定正壓值所需換氣次數確定；如果無（wú）塵室內的排風係統全天運（yùn）行或在非生產時減少風量運行，則（zé）值（zhí）班風機的風量還應考慮排風係統的排風量。
（3）並聯的集中式係統
當一（yī）空調機（jī）房（fáng）內（nèi）布置多個集中式淨化空調係統時，可將幾個（gè）係統並聯，隻設一個（gè）新風熱濕處理係統。這樣做可以減輕每個集中式淨化處理室空調係統的冷負荷與熱（rè）負（fù）荷（hé），而且運行比較靈（líng）活。係統（tǒng）正常運行時，閥1和閥3關閉，閥2和閥4打開，新風風機3和送風風機5投入（rù）運行；係統值班運行時，閥（fá）1和閥3打開，閥2和閥4關閉，新風風機3投入運行，送風風機5停止（zhǐ）運行。此外，當某個係統不需（xū）要運行時，可將閥1和閥2或（huò）閥3和閥4關閉，其相應的送風風機也停止運行即可，而其餘係統可以照常使用。
（4）雙風機係統
當係統阻力較（jiào）大時（shí），為了降低噪聲，減少漏風量（liàng）和便於係統的（de）運行調（diào）節，經技術經濟比較認為合理（lǐ）時，可（kě）采用雙風機集中式淨化空調係統。雙風機係統由於兩台風機串聯（lián）使用，其效率較每台風機單獨使用時要低，同（tóng）時機房麵積也（yě）大。
（5）兩級過濾器係統。對於（yú）層流無塵室，為了延長頂棚過（guò）濾器的使用壽命，減少其更換次數（shù）及提高室（shì）內空氣潔淨度，可在送風靜壓箱人口（kǒu）處或空調機房（fáng）內增設一道過（guò）濾器，即見（jiàn）圖（tú）中*級過濾器。這（zhè）種做法的缺點是係統的阻力增（zēng）大，投資也相應增（zēng）加。
（6）部（bù）分（fèn）空氣直接（jiē）循環的集中係統 利用大型離心通風機實現部分空（kōng）氣直接循環（huán）的集中式係統（tǒng）（見（jiàn）圖）。 利用並聯的小型離心（xīn）式通風機實現部分空氣直接循環的集中式係統。層流無塵室的換氣次數很大，如果空調（diào）機房與無塵室（shì）的距離較遠，可利用大型離心式通風機或風量大、風壓高、效率高、噪聲低的數台小型離心式通（tōng）風機並聯，就近實現部（bù）分空氣的直接循環，縮短了大風管的長度，並（bìng）節省了風管所占空間。將小型離心式通風機（jī）和過濾器組成淨化送風單元，然後用淨化送風單元（yuán）組成層流無塵室，其機房占地（dì）麵積較（jiào）土建式的小，施工周期也將大（dà）大縮短。
（7）設置消聲器的集（jí）中（zhōng）式係統。 係統利用裝配式潔淨小室，局部淨化設備(潔淨工作台、潔淨（jìng）棚、層流罩和自淨器等)與（yǔ）一般空調環境所構成的係統，均叫分散式淨化空調係（xì）統。
目前，應用zui廣（guǎng）泛的是集中式淨化空調係統與分散式淨化空調係統相結合的形式，它兼有集中式和分散式係統的優（yōu）點，更能適應工藝（yì）生（shēng）產的要求和建築工程的客觀條件。
2、分散式淨（jìng）化空調係統
分散式淨化空調（diào）係統的基本形式如下：
（1）在集中式空調係統的環境中，設置局部淨化設備。
（2）在分散式空調係統的環境（jìng）中，設置局部淨化設備。
送風方案（àn）的選（xuǎn）擇
新（xīn）建（jiàn）工程應根據無塵（chén）室的麵積、淨高、位置及消聲、減（jiǎn）振等要求，經綜合技術經濟比較後，確定采（cǎi）用集中式（shì）淨化空調係統或分散式淨化空（kōng）調係統作為送風方案。一般情況下，麵積較大，淨高較高、位置集中及消聲、減振（zhèn）要求嚴格的無塵室應（yīng）采用集中式係統；反之，可采（cǎi）用分散式係統。
改建工程除應符合上述原則外，可根據工程的具體（tǐ）情況作不同的處理。原有建築內設有集中式空調係統時，可在空調係統內集中增（zēng）設中效（xiào）過濾器和（hé）過濾器或在送風口處增設過濾器，並且用提高風機轉速或更換風機的方法，提高（gāo）風（fēng）機的風量和風壓，組成集中式淨（jìng）化空調係統。也可在室內設置局部淨化（huà）設備，組成分散式淨化空調係統。原建築內未設空調（diào）係統時，可增設集中式淨（jìng）化空調係統；也可增設淨化空調器或小型空調器和局部淨化設備，組成分散式淨化空調係（xì）統。
無（wú）塵室空調潔淨化方案淨化方案：
1、全（quán）室淨化
以集中淨化空調係統，在整個房間內造成具有（yǒu）相同潔淨度環（huán）境的淨化處理方式，叫全室淨化。這是潔淨技術中zui早發展（zhǎn）起（qǐ）來的一種方式，並且現（xiàn）在（zài）也仍然被采用。這種方（fāng）式適合於工藝（yì）設備高大，數量很多，且室內要求相同潔（jié）淨度的場所。但是這種方式投資大、運行管（guǎn）理複雜、建設周期長。
2、局部淨化
以淨化空調器或局（jú）部淨化設備(如潔淨工作台、棚式垂直層流單元、層流罩等)，在一般空調環境中造成局部區域具有一定潔淨度級別環境的淨化處理方式叫局部淨（jìng）化。這種方式（shì）適合於生產批量較小或（huò）利用原有廠房進行技術改造的場所。目前，應用zui廣泛的（de）是全室淨化與局部（bù）淨化相結合的淨化處理（lǐ）方式，這是潔淨技術發展中產生的淨化方式，它既能保證室內具有一（yī）定潔淨（jìng）度，又能在局部區域實現高潔（jié）淨度環境，從而達到（dào）既滿足生產對高潔淨度環境的要求，又節約能源的雙重目的。例如，需要100級潔淨度的操（cāo）作工段，當（dāng）生產批量（liàng）較小時，隻要在潔（jié）淨度較低的亂流無塵室內，利用（yòng）潔淨工（gōng）作台或層流罩等局部淨化設備，就能實現全室淨（jìng）化與局部淨化相結合的淨化方式。
3、潔淨隧道
以兩條層流工藝區和中間的亂流操作活動區組成隧道形潔淨環境的淨（jìng）化處理方（fāng）式叫潔淨隧道。這是全室淨化與局部淨化相結合的典型，是目前推廣采用的淨化方式，也被稱之為第三代淨化方式。
按照組成潔淨（jìng）隧道的設備不同，潔淨隧道可分為以下幾種形式。
（1）台式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是將潔淨工作台相互連接在一起，並取消中間的側壁，組成生（shēng）產需要的隧道（dào）型生產線。當工藝要求垂直（zhí）層流時，可選用垂直層流工作台。當工藝要求水（shuǐ）平（píng）層流時，則選用水平層流工作台。這種淨化方式較全室淨化更（gèng）易保證局部空間的高潔淨度（dù），並由於工作台相互連（lián）接，可以減少或防止交叉汙染。此外，對建築的要（yào）求比（bǐ）較簡單，隻要求具備亂流無塵室的環境（jìng）即可。其缺點是潔淨（jìng）工（gōng）作台的尺寸固定，使操作麵缺乏足夠的靈（líng）活性，工藝設備必須適應工作台的尺寸（cùn），調（diào）整起來也不大方便。
（2）棚式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是將潔淨棚，即棚式垂直層流單元串聯在一條生產（chǎn）線（xiàn）上所組成的。根據工藝要求，潔淨棚的麵積可以變化，空氣可以全部為室內循環（huán）式，也可連通集中式淨化空（kōng）調係統，吸取部分新風。棚式潔淨隧道適合於工（gōng）藝設備較大的場所。
（3）罩式潔（jié）淨隧道
這種形式的（de）潔淨隧道是將層流（liú）罩，即罩式垂直層流單元串（chuàn）聯在一條生產線上所組成的。由於層流罩的進深比潔（jié）淨棚小，隻適用於工藝設備較小的場所（suǒ）。空氣（qì）循環方式與棚式（shì）潔淨隧道和台式潔淨隧道相同，是目前采用較多的一種（zhǒng）潔淨隧道（dào）。
（4）集中送風式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是由集中式送風（fēng）係統（tǒng）的滿布過濾器的（de）靜（jìng）壓箱（xiāng）所組成的。層流工作區的寬度可依（yī）照工藝提出的要求確定，而不像台式、棚式和罩式潔淨隧道那樣，因局部淨化設備的尺寸而限製層流工作區的寬度，設計可以（yǐ）更為靈活。采用這種形式時，回風可以通過技（jì）術夾道，在亂流操（cāo）作活動區設置地溝。此外，工業管道（dào）可布置在工作區的沿壁板一側，排（pái）風（fēng）管接至地（dì）溝。
潔（jié）淨隧道的特點如下（xià）：
（1）在隧道（dào）內造成不同的潔淨度（dù），從而充分利用了不同潔淨氣流的特性，zui大限（xiàn）度地滿足工藝要求。一般情況（kuàng）下，隧道（dào）內（nèi）的兩側（cè）是高潔淨度的層流工作區，中間是亂（luàn）流的操作活動區。工藝區連成一條線，使用方便，人員（yuán）的活動也不會引起交（jiāo）叉汙染。
（2）由於在隧道（dào）內（nèi）減少（shǎo）了層流麵積，基建費用和運行費用要（yào）比全室淨化（huà）的垂直層流（liú）無塵室節約三分之一以上。亂流活動操作區的淨高較層流工藝區高得多，能滿足人員舒適（shì）感的要求。
（3）技術（shù）夾道既可作為回風道，又可布置（zhì）各種工業管（guǎn）道，安（ān）裝工藝輔（fǔ）助設備。組成潔（jié）淨隧道的局（jú）部淨化設備(潔淨工作台、潔淨（jìng）棚和層流罩等)、工業管道以及工藝輔助設備的維修均可（kě）在技術夾道（dào）內進行。由於技術夾道相對於潔淨隧道為負壓，因此，維修工作不會引起潔淨隧道的汙染，維修工作可在不停止工藝生產的（de）情況下進行。
潔淨隧道所需的局部淨化設備（bèi）、頂棚、壁板、回風口及門窗等構件，可以標準化、模數化，由專業工廠加工生產，在（zài）現場組裝。同（tóng）時，潔淨隧道（dào）可以迅速拆裝，重新組合，為工（gōng）藝變化提供了方便。
（4）潔淨隧道可以按一定規模配置淨化空調係統（tǒng），因此空調係統可通用化、係列化，從（cóng）而可以大大縮短設計周期。
（5）一般（bān）情況下（xià），潔淨隧道對於建築方麵的（de）要求比較簡單，隻（zhī）要具備亂流無塵室（shì）的環境，即可滿足要求。
4、潔淨管道
把需要超高潔淨度級別(如1級或10級)的工藝生（shēng）產線（xiàn），放在與室內空氣環境隔絕的管道中的淨化處理（lǐ）方式，叫潔（jié）淨管道。這種方式要求工藝生（shēng）產必須是自動化的，過濾器必須（xū）是以0．1μm塵粒為標準的才能實現超高（gāo）潔（jié）淨度。此外，這種方式由於被淨化的是管道（dào）中的空氣，送、回風量很小，可以大幅度（dù）地節約（yuē）能量，是潔淨技術的發展（zhǎn）方向，也被稱（chēng）為第四代淨（jìng）化方式。
以上介紹的淨化處理（lǐ）方案需要根據（jù）具體情況（kuàng）確定。
目前技術上（shàng）發展已經比較成熟的是全室淨化、局部（bù）淨（jìng）化（huà）(包括全（quán）室淨（jìng）化（huà）和局部淨（jìng）化相結合)以及（jí）潔淨隧道三種（zhǒng）淨化處理方式，工程設計中應（yīng）結（jié）合具體情況選擇其中一種（zhǒng）或兩種淨化方式作為設計方案。在滿足工藝要求的條件下，應盡量選用局部淨化方式。局部（bù）淨化（huà）采用局部淨（jìng）化設備，在一般空調環境中實現。由（yóu）於局部淨化設備一般均由專業（yè）工廠生產，設（shè）備質量高，又可加快現場施工速度，在改建工程中可以優先考（kǎo）慮這（zhè）種方案（àn）。當隻用（yòng）局部淨化方式不能滿足工藝要求時，可采（cǎi）用局部（bù）淨化與全室淨化相結合的淨化方式作（zuò）為設計方案。當上述淨化方式均不能（néng）滿足工藝要求時，才選用全室（shì）淨化的淨化方式作為設計方案（àn）。由於這種方式要造成全室具（jù）有相同的潔淨度，特別是潔淨度級別高（gāo）時，初（chū）投資和運行費用都很高，因此（cǐ），無塵室的麵積應嚴（yán）格加以控製。
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