靜電和離子（zǐ）生成器測試儀表

潔淨室或其它受控環境（jìng）對（duì）內圍護結構材質的物理、化學穩定性要求較高。相應而來的問題是地麵麵層雖光潔、柔韌、耐磨，但導電性能是否符合（hé）要求，會不會聚集（jí）靜電圍護結構麵層。特別是地麵靜電（diàn）聚集、其危害是多方麵的，包括損壞電（diàn）子設備、儀器、擊傷（shāng）人（rén）體、導致火災、爆炸等，對於電子工業尤為嚴重。國家標準GB 50073-2001規定，地麵麵層應采用靜電耗散型材料，其表麵電阻率應為1.0*10⁵～1.0*10¹²Ω或體積電阻率（lǜ）為1.0*10⁴～1.0*10¹¹Ω.cm。地麵應設有導電泄放措施和接地構（gòu）造，其對地泄放電阻值應（yīng）為（wéi）1.0*10⁵～1.0*10⁹Ω。有關防靜電係統測試方麵的要求，可（kě）參（cān）考（kǎo）國內（nèi）電子行業標準SJ/T10694《電子產品（pǐn）和製造防靜電係統（tǒng）測試方法》。
國家行（háng）業（yè）標（biāo）準JGJ 71-90《潔淨室施工及驗收規範》對（duì）地麵、牆麵及工作台（tái）麵的導（dǎo）靜電性能，推薦采（cǎi）用符合（hé）精度要求的高（gāo）阻計，在被測表（biǎo）麵上選（xuǎn）定代表區域的兩點間，按下圖所示方法進行測試。


ISO 14644-3對靜電測試相關儀器給出了以下技術要求：
1、靜電電壓計
靜電電壓計用以測量ɑ區域（yù）內的（de）平均電（diàn）壓或電位，對其（qí）技術要求如下（xià）表所列。
對精密電（diàn）壓計（jì）的測（cè）量技術要求：
   

對手動式靜電電壓計或靜電場強計的測量技術要求：


2、高電阻歐姆表
高電阻歐姆表用以測量絕緣材料和部件（jiàn）的電阻，其方法是探測從一（yī）施（shī）加高壓的（de）部位到被測部位的漏電電阻，對其技（jì）術要求及附加技術要求如下表所（suǒ）列（liè）。
高電阻歐姆表的測量技術要求：


高（gāo）電（diàn）阻歐姆表的測量附加技術（shù）要求：

3、充電板檢測儀
充電（diàn）板檢測（cè）儀（yí）用以（yǐ）測量電離器或離子化裝置的中和特性。測試的目的是評估雙極離子生成器的性能，測試內容通常包括兩個方麵：
（1）測量放電時間，用以計算離子生成器消除（chú）靜電荷的效率（lǜ）；
（2）測量補償電壓，用以評（píng）估在離子生（shēng）成器生（shēng）成的離子化氣流中（zhōng）正負離子的不穩定性。離子的（de）不穩定會造成不利的殘餘電壓。