電子（zǐ）潔淨室靜壓差的檢測方法

（1）檢測要求
①靜壓差的測定要求在潔淨區內的所有的（de）門全部（bù）關閉情況下進行。
②在潔淨室平麵上應從潔淨度由高（gāo）到低（dī）的順序依次進行，一直（zhí）檢測到直通室外的房間。
③測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口麵與（yǔ）氣流流線平行。
④所測量記錄的數據應到O.lPa。
（2）普通傳遞窗檢測方法
①先關閉所有的（de）門。
②用微差壓計（jì）測量各潔淨（jìng）室之間、潔淨室走廊之（zhī）間、走廊與外界之間的（de）壓差。
③記錄所有數據。
（3）測量儀器采用YJB-150補償微壓計，量程0—1 500Pa或其他微壓力計，儀表靈敏度小於O.lPa。
（4）合格標（biāo）準按照傳遞窗（chuāng）原理潔淨室設計或工藝要求決定維持被測潔淨室的正壓或（huò）負壓值。
①不同級別的潔淨室（shì）或潔淨區與非潔淨室（區）之間的（de）靜壓差，應不小（xiǎo）於4.9Pa。
②潔淨室（區）與室外的靜壓差，不應（yīng）小於9.8Pa。
③對於空氣潔淨度等級嚴於5級（100級）的單向流潔淨室在開門時（shí），門內0.6m處（chù）的室內（nèi）工作麵含塵濃度應（yīng）不大於相（xiàng）應級別的含塵濃（nóng）度限值。
④若達不到以上標準的要求，應重新調整新風量、排風量，至合格為（wéi）止。