
電子產品生產與潔淨技術
國內(nèi)外的潔淨(jìng)技術的發展都是隨著科學技術的發展、工業產品的日新月異,特別是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展而不(bú)斷發展(zhǎn)。現代工業新產品(pǐn)和現代科學實驗(yàn)活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可(kě)靠性。產品的微型化等的生產,要求有(yǒu)一個“潔淨的生產環境(jìng)”,潔淨技術便是按照產品(pǐn)生產(chǎn)對“潔淨生產環境”中的汙染物的控(kòng)製要求、控製方法以及控製設施的日益嚴格而不斷發展。潔淨生產(chǎn)環境—潔淨室(潔淨廠房)的(de)稱謂、名稱或定義,先後使用過“無法(fǎ)室”、“無窗廠房”、“密閉廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”……等,潔淨室因定義為將空氣中的微粒、有害氣體、微生物受控的房間,以滿足產品生產的需要;潔淨室(shì)的建造和使用應不引入或少引入微粒等,應不產生或少產生微粒等(děng)應(yīng)不滯留微粒等(děng);應對潔淨室內的溫度、濕度、壓力等(děng)參數按產品生產要求進行控製(zhì);根據產品生(shēng)產要求還需對潔淨室內(nèi)的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進(jìn)行控製。
根據電子產品生產(chǎn)的特點,以半導體集成電(diàn)路生(shēng)產用潔(jié)淨室除(chú)應安裝產品生產用設備外,一(yī)般應具有下(xià)列功能設施:
淨化空調係統、淨化設備
潔淨建築及(jí)裝飾
噪聲控製、防微振
防靜電、防電磁幹擾
電氣(qì)、照明
高純物質—高純水(shuǐ)、高純氣、高純化學品供應(yīng)
安全(quán)、報警係統
通(tōng)信設施等
潔淨室設計是一門綜(zōng)合(hé)技術,設計過程(chéng)的關鍵專業技術是生產工藝技術(shù)及其工藝設計;空氣淨化專業設計;潔淨建築設計以及各類產品生產所需的專業技術,如微電子產(chǎn)品生產所需的高純(chún)物質(zhì)—高純水、高(gāo)純氣的專(zhuān)業技術(shù)等。這些專業技術(shù)在潔淨室設計中都是*的,它們之間必須密切配合,圍(wéi)繞著滿足產品生(shēng)產的需要,相互協調、統籌安排,在做好各相關(guān)專(zhuān)業設計(jì)的基礎(chǔ)上,處理好電源、冷源、熱源等動力供應,節約能源;設有各項(xiàng)安全設施(shī)—消防、防火、防爆(bào)、安全報(bào)警確保潔(jié)淨室的安全運行;安排好各類配管配線,確保各種流體介質的輸送質量,減少(shǎo)材料消耗,方便施工安裝和運行維護。