潔淨室施工-潔淨室性能測試（氣流流型的檢測）

1、氣流流型的檢測包括氣流目測（cè）和氣流流向的測試。氣流目測可采用示蹤線法、發煙（yān）（霧）法和采用圖像處理技術等方法。氣流流向的測試一般采（cǎi）用示蹤線法、發煙（霧（wù））法和三維法（fǎ）測量氣流速度等方法。
2、采用示蹤線（xiàn）法時可采用尼龍單絲線、棉線、薄膜帶等輕質纖維，放置在測試杆的末端，或裝在（zài）氣流中細絲格柵上，直（zhí）接（jiē）觀察出氣流的方向和因幹（gàn）擾引（yǐn）起的波動。
3、采有發煙（霧）法時（shí），可采用去離子水，用（yòng）固態二氧化碳（幹冰）或（huò）超聲波霧化器等生成（chéng）直徑為0.5~50μm的水霧，采用（yòng）四氯化鈦（TiCl₄）作（zuò）示蹤粒（lì）子時，應確保潔淨室、室內設（shè）備以（yǐ）及操（cāo）作（zuò）人員不受四氯化鈦產生的酸傷害。
4、采用圖像處（chù）理技術進行（háng）氣流目測（cè）時，由C.5.2得（dé）到的（de）在攝像機或膜（mó）上的粒子圖（tú）像數據，利用二維空氣流速度矢量提供量化的氣流特性。圖像處理技術要求帶有適用的接口和軟件的數字計算（suàn）機。
5、采用三維法測量氣流速度、采用熱球風速計或（huò）超聲（shēng）風速計，檢測點選擇在關鍵工作區及其工作麵高度。根據建設方要求（qiú）需進行潔淨室（區）的氣流方（fāng）向的均勻分布測試時（shí），應進（jìn）行（háng）多點測試，其測試點的（de）選擇宜參照C.2中的（de）方法選用。